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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 椭偏仪的功能
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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wtm_AE

金虫 (小有名气)

[交流] 椭偏仪的功能

最近在研究椭偏仪，我大概的总结了它的用途：
能在任何材料衬底上测量各种单层或多层膜；
对膜层厚度没有限制,可以薄至1纳米,厚至几百微米；
可以一次测量测出多层膜的膜厚及折射率；
因能一次测量采集数百组椭偏参数Psi及Del，光学重要性较反
射率R强，因此测量精度属于最高量级；
操作简单，能一键完成测量，测量时间2秒；
超高灵敏的背照式CCD光谱仪、高信噪比；

还有其它的用途吗？
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1楼 2016-03-10 11:43:09
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wiary2008

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by wiary2008 at 2016-06-30 18:26:24
可以的，像穆勒矩阵椭偏仪 几秒内就能一次性测量至少16个参数。这些参数设计到大部分光学参数。
...

你可以百度下 武汉颐光科技 的椭偏仪，了解下

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10楼2016-06-30 18:27:13
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jjj0819

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
请问椭偏仪可以测水膜厚度吗？微米量级的～

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13楼2017-04-28 20:36:20
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普通回帖

2141375

新虫 (初入文坛)
★
wtm_AE(金币+1): 谢谢参与
想用椭偏仪测光刻胶的膜厚可以吗？需要知道光刻胶的什么参数？
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2楼2016-03-14 09:58:53
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wtm_AE

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 2141375 at 2016-03-14 09:58:53
想用椭偏仪测光刻胶的膜厚可以吗？需要知道光刻胶的什么参数？

光刻胶的成分是单一的吗？
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3楼2016-03-21 16:55:57
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astyake0309

新虫 (初入文坛)
★
wtm_AE(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by 2141375 at 2016-03-14 09:58:53
想用椭偏仪测光刻胶的膜厚可以吗？需要知道光刻胶的什么参数？

为什么不用台阶仪或者光学轮廓仪那
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5楼2016-03-23 19:15:11
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wtm_AE

金虫 (小有名气)
可以使用台阶仪测试，简单方便
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tianbalong
6楼2016-03-24 11:46:44
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tianbalong

铁杆木虫 (著名写手)
★
wtm_AE(金币+1): 谢谢参与
送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by wtm_AE at 2016-03-24 11:46:44
可以使用台阶仪测试，简单方便

我的膜厚约15微米，台阶仪测量精度能达到吗？误差范围多少？
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7楼2016-04-21 15:56:57
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913340933

新虫 (小有名气)
★
wtm_AE(金币+1): 谢谢参与
椭偏仪能测吸收系数吗
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8楼2016-05-25 10:28:16
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wiary2008

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
8楼: Originally posted by 913340933 at 2016-05-25 10:28:16
椭偏仪能测吸收系数吗

可以的，像穆勒矩阵椭偏仪 几秒内就能一次性测量至少16个参数。这些参数设计到大部分光学参数。

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9楼2016-06-30 18:26:24
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xdonqi

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
哇，请问楼主你们的椭偏仪型号啊？数据采集只需2秒？之后需要对psi和del拟合得出薄膜厚度及其他的光学参数吗？
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11楼2016-07-02 12:20:50
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wtm_AE

金虫 (小有名气)
引用回帖:
11楼: Originally posted by xdonqi at 2016-07-02 12:20:50
哇，请问楼主你们的椭偏仪型号啊？数据采集只需2秒？之后需要对psi和del拟合得出薄膜厚度及其他的光学参数吗？

是的，光谱型椭偏仪，采集时间短，对你需要的psi和del拟合得出薄膜厚度都可以进行分析的
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12楼2016-09-19 09:20:22
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lymmaotou

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
还可以测光学带隙

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14楼2017-04-28 21:04:53
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卡其妞妞4楼
2016-03-21 22:10   回复  
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