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wtm_AE

金虫 (小有名气)


[交流] 椭偏仪的功能

最近在研究椭偏仪,我大概的总结了它的用途:
能在任何材料衬底上测量各种单层或多层膜;
对膜层厚度没有限制,可以薄至1纳米,厚至几百微米;
可以一次测量测出多层膜的膜厚及折射率;
因能一次测量采集数百组椭偏参数Psi及Del,光学重要性较反
射率R强,因此测量精度属于最高量级;
操作简单,能一键完成测量,测量时间2秒;
超高灵敏的背照式CCD光谱仪、高信噪比;

还有其它的用途吗?
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xdonqi

铜虫 (初入文坛)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
哇,请问楼主你们的椭偏仪型号啊?数据采集只需2秒?之后需要对psi和del拟合得出薄膜厚度及其他的光学参数吗?
11楼2016-07-02 12:20:50
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2141375

新虫 (初入文坛)



wtm_AE(金币+1): 谢谢参与
想用椭偏仪测光刻胶的膜厚可以吗?需要知道光刻胶的什么参数?
2楼2016-03-14 09:58:53
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wtm_AE

金虫 (小有名气)


引用回帖:
2楼: Originally posted by 2141375 at 2016-03-14 09:58:53
想用椭偏仪测光刻胶的膜厚可以吗?需要知道光刻胶的什么参数?

光刻胶的成分是单一的吗?
3楼2016-03-21 16:55:57
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astyake0309

新虫 (初入文坛)



wtm_AE(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by 2141375 at 2016-03-14 09:58:53
想用椭偏仪测光刻胶的膜厚可以吗?需要知道光刻胶的什么参数?

为什么不用台阶仪或者光学轮廓仪那
5楼2016-03-23 19:15:11
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2016-03-21 22:10   回复  
wtm_AE(金币+1): 谢谢参与
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