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椭偏仪的功能
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最近在研究椭偏仪，我大概的总结了它的用途： 能在任何材料衬底上测量各种单层或多层膜； 对膜层厚度没有限制,可以薄至1纳米,厚至几百微米； 可以一次测量测出多层膜的膜厚及折射率； 因能一次测量采集数百组椭偏参数Psi及Del，光学重要性较反 射率R强，因此测量精度属于最高量级； 操作简单，能一键完成测量，测量时间2秒； 超高灵敏的背照式CCD光谱仪、高信噪比； 还有其它的用途吗？ |
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