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椭偏仪的功能
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wtm_AE
金虫
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[交流]
椭偏仪的功能
最近在研究椭偏仪,我大概的总结了它的用途:
能在任何材料衬底上测量各种单层或多层膜;
对膜层厚度没有限制,可以薄至1纳米,厚至几百微米;
可以一次测量测出多层膜的膜厚及折射率;
因能一次测量采集数百组椭偏参数Psi及Del,光学重要性较反
射率R强,因此测量精度属于最高量级;
操作简单,能一键完成测量,测量时间2秒;
超高灵敏的背照式CCD光谱仪、高信噪比;
还有其它的用途吗?
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2016-03-10 11:43:09
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wtm_AE
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2楼
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Originally posted by
2141375
at 2016-03-14 09:58:53
想用椭偏仪测光刻胶的膜厚可以吗?需要知道光刻胶的什么参数?
光刻胶的成分是单一的吗?
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3楼
2016-03-21 16:55:57
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2141375
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wtm_AE(金币+1): 谢谢参与
想用椭偏仪测光刻胶的膜厚可以吗?需要知道光刻胶的什么参数?
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2楼
2016-03-14 09:58:53
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astyake0309
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★
wtm_AE(金币+1): 谢谢参与
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2楼
:
Originally posted by
2141375
at 2016-03-14 09:58:53
想用椭偏仪测光刻胶的膜厚可以吗?需要知道光刻胶的什么参数?
为什么不用台阶仪或者光学轮廓仪那
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5楼
2016-03-23 19:15:11
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wtm_AE
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可以使用台阶仪测试,简单方便
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tianbalong
6楼
2016-03-24 11:46:44
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卡其妞妞
4楼
2016-03-21 22:10
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wtm_AE(金币+1): 谢谢参与
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