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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 椭偏仪的功能
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wtm_AE

金虫 (小有名气)

[交流] 椭偏仪的功能

最近在研究椭偏仪，我大概的总结了它的用途：
能在任何材料衬底上测量各种单层或多层膜；
对膜层厚度没有限制,可以薄至1纳米,厚至几百微米；
可以一次测量测出多层膜的膜厚及折射率；
因能一次测量采集数百组椭偏参数Psi及Del，光学重要性较反
射率R强，因此测量精度属于最高量级；
操作简单，能一键完成测量，测量时间2秒；
超高灵敏的背照式CCD光谱仪、高信噪比；

还有其它的用途吗？
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1楼 2016-03-10 11:43:09
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tianbalong

铁杆木虫 (著名写手)
★
wtm_AE(金币+1): 谢谢参与
送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by wtm_AE at 2016-03-24 11:46:44
可以使用台阶仪测试，简单方便

我的膜厚约15微米，台阶仪测量精度能达到吗？误差范围多少？
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7楼2016-04-21 15:56:57
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2141375

新虫 (初入文坛)
★
wtm_AE(金币+1): 谢谢参与
想用椭偏仪测光刻胶的膜厚可以吗？需要知道光刻胶的什么参数？
赞一下 回复此楼
2楼2016-03-14 09:58:53
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wtm_AE

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 2141375 at 2016-03-14 09:58:53
想用椭偏仪测光刻胶的膜厚可以吗？需要知道光刻胶的什么参数？

光刻胶的成分是单一的吗？
赞一下 回复此楼
3楼2016-03-21 16:55:57
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astyake0309

新虫 (初入文坛)
★
wtm_AE(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by 2141375 at 2016-03-14 09:58:53
想用椭偏仪测光刻胶的膜厚可以吗？需要知道光刻胶的什么参数？

为什么不用台阶仪或者光学轮廓仪那
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5楼2016-03-23 19:15:11
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卡其妞妞4楼
2016-03-21 22:10   回复  
wtm_AE(金币+1): 谢谢参与
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