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椭偏仪的功能
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wtm_AE
金虫
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[交流]
椭偏仪的功能
最近在研究椭偏仪,我大概的总结了它的用途:
能在任何材料衬底上测量各种单层或多层膜;
对膜层厚度没有限制,可以薄至1纳米,厚至几百微米;
可以一次测量测出多层膜的膜厚及折射率;
因能一次测量采集数百组椭偏参数Psi及Del,光学重要性较反
射率R强,因此测量精度属于最高量级;
操作简单,能一键完成测量,测量时间2秒;
超高灵敏的背照式CCD光谱仪、高信噪比;
还有其它的用途吗?
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2016-03-10 11:43:09
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wiary2008
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9楼
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wiary2008
at 2016-06-30 18:26:24
可以的,像穆勒矩阵椭偏仪 几秒内就能一次性测量至少16个参数。这些参数设计到大部分光学参数。
...
你可以百度下 武汉颐光科技 的椭偏仪,了解下
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10楼
2016-06-30 18:27:13
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jjj0819
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请问椭偏仪可以测水膜厚度吗?微米量级的~
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13楼
2017-04-28 20:36:20
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2141375
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wtm_AE(金币+1): 谢谢参与
想用椭偏仪测光刻胶的膜厚可以吗?需要知道光刻胶的什么参数?
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2016-03-14 09:58:53
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2楼
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Originally posted by
2141375
at 2016-03-14 09:58:53
想用椭偏仪测光刻胶的膜厚可以吗?需要知道光刻胶的什么参数?
光刻胶的成分是单一的吗?
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3楼
2016-03-21 16:55:57
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astyake0309
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2楼
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Originally posted by
2141375
at 2016-03-14 09:58:53
想用椭偏仪测光刻胶的膜厚可以吗?需要知道光刻胶的什么参数?
为什么不用台阶仪或者光学轮廓仪那
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5楼
2016-03-23 19:15:11
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可以使用台阶仪测试,简单方便
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tianbalong
6楼
2016-03-24 11:46:44
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tianbalong
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6楼
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Originally posted by
wtm_AE
at 2016-03-24 11:46:44
可以使用台阶仪测试,简单方便
我的膜厚约15微米,台阶仪测量精度能达到吗?误差范围多少?
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7楼
2016-04-21 15:56:57
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913340933
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椭偏仪能测吸收系数吗
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8楼
2016-05-25 10:28:16
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wiary2008
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8楼
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Originally posted by
913340933
at 2016-05-25 10:28:16
椭偏仪能测吸收系数吗
可以的,像穆勒矩阵椭偏仪 几秒内就能一次性测量至少16个参数。这些参数设计到大部分光学参数。
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9楼
2016-06-30 18:26:24
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xdonqi
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
哇,请问楼主你们的椭偏仪型号啊?数据采集只需2秒?之后需要对psi和del拟合得出薄膜厚度及其他的光学参数吗?
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11楼
2016-07-02 12:20:50
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wtm_AE
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11楼
:
Originally posted by
xdonqi
at 2016-07-02 12:20:50
哇,请问楼主你们的椭偏仪型号啊?数据采集只需2秒?之后需要对psi和del拟合得出薄膜厚度及其他的光学参数吗?
是的,光谱型椭偏仪,采集时间短,对你需要的psi和del拟合得出薄膜厚度都可以进行分析的
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12楼
2016-09-19 09:20:22
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lymmaotou
金虫
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
还可以测光学带隙
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14楼
2017-04-28 21:04:53
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卡其妞妞
4楼
2016-03-21 22:10
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