应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何向微米沟槽阵列中填充介电材料
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
121/2返回列表12下一页
查看: 1462  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

holster_1988

新虫 (小有名气)

[求助] 如何向微米沟槽阵列中填充介电材料

使用光刻在硅片上制备了10微米间距的沟槽阵列，想在沟槽内沉积Al2O3，使其将沟槽填充满，且避免非沟槽的区域也覆盖上Al2O3，求助高人指点或推荐相关文献。谢谢！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2016-03-09 16:51:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

郭心雨

铁虫 (小有名气)
沉积完了后再覆盖光刻胶做掩膜，要对准好，然后酸液去除氧化铝。可以私信

发自小木虫IOS客户端
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2016-03-09 19:24:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
holster_1988: 金币+5, ★★★很有帮助 2016-03-10 09:43:07
直接长足够厚的Al2O3，然后减薄，直到Si暴露出来。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2016-03-10 08:51:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dorrnm

金虫 (小有名气)
有现成的工艺，查查CMOS大马士革工艺，就是你说的这种效果，要平坦化的

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2016-03-10 09:09:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
holster_1988: 金币+5 2016-03-10 16:02:02
槽有多深？
刻槽可以参考lift off工艺，利用选择性填充。
赞一下(1人) 回复此楼
9楼2016-03-10 13:19:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

holster_1988

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 郭心雨 at 2016-03-09 19:24:33
沉积完了后再覆盖光刻胶做掩膜，要对准好，然后酸液去除氧化铝。可以私信

技术难度挺大的
回复此楼
3楼2016-03-09 22:31:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

holster_1988

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by reninhat at 2016-03-10 08:51:43
直接长足够厚的Al2O3，然后减薄，直到Si暴露出来。

这个听起来简单些，谢谢！
赞一下 回复此楼
6楼2016-03-10 09:41:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

holster_1988

新虫 (小有名气)
想给每个人5个金币，怎么不是应助贴还给不了
赞一下 回复此楼
7楼2016-03-10 09:47:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

holster_1988

新虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by dorrnm at 2016-03-10 09:09:40
有现成的工艺，查查CMOS大马士革工艺，就是你说的这种效果，要平坦化的

谢谢，我去找找看！
回复此楼
8楼2016-03-10 09:48:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

holster_1988

新虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by yswyx at 2016-03-10 13:19:06
槽有多深？
刻槽可以参考lift off工艺，利用选择性填充。

谢谢，槽的高度1um。您的意思是刻完槽先不去胶，直接填充，最后lift off么？
赞一下 回复此楼
10楼2016-03-10 15:30:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 holster_1988 的主题更新
121/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 299求调剂 +8 15188958825 2026-03-25 8/400 2026-03-29 01:36 by fmesaito
[考研] 一志愿北京理工大学本科211材料工程294求调剂 +6 mikasa的围巾 2026-03-28 6/300 2026-03-29 01:32 by fmesaito
[硕博家园] 招收生物学/细胞生物学调剂 +4 IceGuo 2026-03-26 5/250 2026-03-29 01:25 by griffith2014
[考研] 一志愿北京化工大学材料与化工（085600）296求调剂 +12 稻妻小编 2026-03-26 12/600 2026-03-29 01:04 by 我是小康
[考研] 0856材料化工调剂 总分330 +11 zhubinhao 2026-03-27 11/550 2026-03-28 20:22 by 418490947
[考研] 一志愿华北电力大学能动专硕，293，求调剂 +3 15537177284 2026-03-23 5/250 2026-03-28 16:11 by xxxsssccc
[考研] 085600，材料与化工321分求调剂 +9 大馋小子 2026-03-28 9/450 2026-03-28 14:56 by 神马都不懂
[考研] 291求调剂 +15 hhhhxn.. 2026-03-23 21/1050 2026-03-28 11:26 by self2008
[考研] 330一志愿中国海洋大学 化学工程 085602 有读博意愿 求调剂 +3 wywy.. 2026-03-27 4/200 2026-03-28 03:32 by fmesaito
[考研] 一志愿北京化工大学 070300 学硕 336分 求调剂 +9 vv迷 2026-03-22 9/450 2026-03-27 15:59 by 不吃魚的貓
[考研] 08开头275求调剂 +4 拉谁不重要 2026-03-26 4/200 2026-03-27 14:12 by Delta2012
[考研] 一志愿211，335分，0856，求调剂院校和导师 +4 倾____萧 2026-03-27 5/250 2026-03-27 11:52 by zhshch
[考研] 0703化学338求调剂！ +6 Zuhui0306 2026-03-26 7/350 2026-03-27 10:35 by shangxh
[考研] 281求调剂 +3 亚克西good 2026-03-26 5/250 2026-03-26 19:48 by 不吃魚的貓
[考研] 生物学 296 求调剂 +4 朵朵- 2026-03-26 6/300 2026-03-26 19:01 by 不吃魚的貓
[考研] 334分 一志愿武理 材料求调剂 +4 李李不服输 2026-03-26 4/200 2026-03-26 16:00 by 不吃魚的貓
[考研] 化学调剂一志愿上海交通大学336分-本科上海211 +4 小鱼爱有机 2026-03-25 4/200 2026-03-26 10:19 by aa331100
[考研] 考研一志愿苏州大学初始315（英一）求调剂 +3 sbdksD 2026-03-24 4/200 2026-03-25 18:16 by xcjcqu
[考研] 求调剂 +3 李李不服输 2026-03-25 3/150 2026-03-25 13:03 by cmz0325
[考研] 求老师收我 +3 zzh16938784 2026-03-23 3/150 2026-03-23 12:56 by ztnimte
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭