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holster_1988新虫 (小有名气)
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如何向微米沟槽阵列中填充介电材料
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| 使用光刻在硅片上制备了10微米间距的沟槽阵列，想在沟槽内沉积Al2O3，使其将沟槽填充满，且避免非沟槽的区域也覆盖上Al2O3，求助高人指点或推荐相关文献。谢谢！ |
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2楼2016-03-09 19:24:33
reninhat
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4楼2016-03-10 08:51:43
dorrnm
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5楼2016-03-10 09:09:40
yswyx 
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9楼2016-03-10 13:19:06
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3楼2016-03-09 22:31:03
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6楼2016-03-10 09:41:06
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7楼2016-03-10 09:47:13
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8楼2016-03-10 09:48:18
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10楼2016-03-10 15:30:48
