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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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holster_1988

新虫 (小有名气)

[求助] 如何向微米沟槽阵列中填充介电材料

使用光刻在硅片上制备了10微米间距的沟槽阵列,想在沟槽内沉积Al2O3,使其将沟槽填充满,且避免非沟槽的区域也覆盖上Al2O3,求助高人指点或推荐相关文献。谢谢!
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holster_1988

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 郭心雨 at 2016-03-09 19:24:33
沉积完了后再覆盖光刻胶做掩膜,要对准好,然后酸液去除氧化铝。可以私信

技术难度挺大的
3楼2016-03-09 22:31:03
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郭心雨

铁虫 (小有名气)

沉积完了后再覆盖光刻胶做掩膜,要对准好,然后酸液去除氧化铝。可以私信

发自小木虫IOS客户端
2楼2016-03-09 19:24:33
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
holster_1988: 金币+5, ★★★很有帮助 2016-03-10 09:43:07
直接长足够厚的Al2O3,然后减薄,直到Si暴露出来。
4楼2016-03-10 08:51:43
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dorrnm

金虫 (小有名气)

有现成的工艺,查查CMOS大马士革工艺,就是你说的这种效果,要平坦化的

发自小木虫Android客户端
5楼2016-03-10 09:09:40
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