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holster_1988新虫 (小有名气)
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[求助]
如何向微米沟槽阵列中填充介电材料
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| 使用光刻在硅片上制备了10微米间距的沟槽阵列，想在沟槽内沉积Al2O3，使其将沟槽填充满，且避免非沟槽的区域也覆盖上Al2O3，求助高人指点或推荐相关文献。谢谢！ |
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