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holster_1988

新虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by reninhat at 2016-03-10 08:51:43
直接长足够厚的Al2O3,然后减薄,直到Si暴露出来。

还想请问,减薄一般是用什么方法?直接机械抛光?
11楼2016-03-16 09:06:17
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

CMP就可以
12楼2016-03-16 14:16:29
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