应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何向微米沟槽阵列中填充介电材料
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
51/1返回列表
查看: 1458  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

holster_1988

新虫 (小有名气)

[求助] 如何向微米沟槽阵列中填充介电材料

使用光刻在硅片上制备了10微米间距的沟槽阵列，想在沟槽内沉积Al2O3，使其将沟槽填充满，且避免非沟槽的区域也覆盖上Al2O3，求助高人指点或推荐相关文献。谢谢！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2016-03-09 16:51:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

holster_1988

新虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by yswyx at 2016-03-10 13:19:06
槽有多深？
刻槽可以参考lift off工艺，利用选择性填充。

谢谢，槽的高度1um。您的意思是刻完槽先不去胶，直接填充，最后lift off么？
赞一下 回复此楼
10楼2016-03-10 15:30:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答

郭心雨

铁虫 (小有名气)
沉积完了后再覆盖光刻胶做掩膜，要对准好，然后酸液去除氧化铝。可以私信

发自小木虫IOS客户端
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2016-03-09 19:24:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

holster_1988

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 郭心雨 at 2016-03-09 19:24:33
沉积完了后再覆盖光刻胶做掩膜，要对准好，然后酸液去除氧化铝。可以私信

技术难度挺大的
回复此楼
3楼2016-03-09 22:31:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
holster_1988: 金币+5, ★★★很有帮助 2016-03-10 09:43:07
直接长足够厚的Al2O3，然后减薄，直到Si暴露出来。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2016-03-10 08:51:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 12 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 调剂求院校招收 +5 鹤鲸鸽 2026-03-28 5/250 2026-03-29 01:10 by 我是小康
[硕博家园] 求调剂 330分 085600材料与化工 +3 gqhhh 2026-03-22 3/150 2026-03-29 00:52 by 544594351
[考研] 一志愿太原理工安全工程300分，求调剂 +5 0857求调剂. 2026-03-24 6/300 2026-03-28 22:04 by zhq0425
[考研] 求调剂 +7 争取九点睡 2026-03-28 8/400 2026-03-28 21:07 by 争取九点睡
[考研] 生物学学硕，一志愿湖南大学，初试成绩338 +6 YYYYYNNNNN 2026-03-26 7/350 2026-03-28 20:52 by 唐沐儿
[考研] 材料与化工272求调剂 +9 阿斯蒂芬2004 2026-03-28 9/450 2026-03-28 15:21 by 1018329917
[考研] 一志愿厦门大学化学学硕307求调剂 +10 y7czhao 2026-03-26 10/500 2026-03-28 14:23 by 唐沐儿
[考研] 070300求调剂306分 +4 26要上岸 2026-03-27 4/200 2026-03-28 13:06 by 唐沐儿
[考研] 材料277求调剂 +7 min3 2026-03-24 7/350 2026-03-28 11:39 by xuxiang
[考研] 291求调剂 +15 hhhhxn.. 2026-03-23 21/1050 2026-03-28 11:26 by self2008
[考研] 328求调剂 +7 嗯滴的基本都 2026-03-27 7/350 2026-03-28 04:19 by fmesaito
[考研] 一志愿南师大0703化学 275求调剂 +4 Ripcord上岸 2026-03-27 4/200 2026-03-27 17:00 by zhyzzh
[考研] 考研调剂 +10 呼呼？~+123456 2026-03-24 10/500 2026-03-27 11:46 by wangjy2002
[考研] 276求调剂。有半年电池和半年高分子实习经历 +10 材料学257求调剂 2026-03-23 11/550 2026-03-27 10:13 by YCIT- LHL
[考研] 一志愿陕师大生物学071000，298分，求调剂 +5 SYA！ 2026-03-23 5/250 2026-03-27 09:29 by 不吃魚的貓
[考研] 324求调剂 +8 hanamiko 2026-03-26 10/500 2026-03-27 08:06 by hypershenger
[考研] 086000生物与医药292求调剂 +6 小小陈小小 2026-03-22 9/450 2026-03-26 15:58 by dick_runner
[考研] 309求调剂 +4 gajsj 2026-03-25 5/250 2026-03-26 00:27 by Dyhoer
[考研] 269求调剂 +4 我想读研11 2026-03-23 4/200 2026-03-23 21:25 by pswait
[考研] 石河子大学（211、双一流）硕博研究生长期招生公告 +3 李子目 2026-03-22 3/150 2026-03-22 21:01 by 怎么释怀
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭