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关于耐高温SiC芯片在AlN基座上粘结固定的问题 已有2人参与
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请问,怎么实现SiC芯片在AlN基座上的粘结固定?用玻璃粘结的话,因为芯片工作温度可达1200 C,玻璃粘结也不可靠,有没有 什么粘结固定方案?或者我应该从哪里着手解决这个问题? |
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