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taysani金虫 (小有名气)
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[交流]
【求助】光刻板的问题
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| 我刚刚开始接触光刻。现在想定做一块光刻板，应该是光刻掩模板吧，就是光刻时覆盖在基体上的。我在网上查了一下关于光刻板的参数。网上说有G线，l线，有说光刻板材料分为钙钠玻璃和石英玻璃，还有什么铬板之类的。我问一下，这个光刻板的材料有什么讲究吗？不同材料的优缺点在哪里？还有就是什么是光刻板的最小线宽？是指图形边缘线的粗细吗？希望有能人详细的讲解一下关于光刻板的知识，不甚感激。 |
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2楼2011-03-23 20:34:20
3楼2011-03-25 22:35:19
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xjajx(金币+2): 鼓励交流 2011-03-25 23:26:23
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4楼2011-03-25 23:15:09
hanjunhao
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5楼2011-03-30 16:03:33
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掩模板一般就是在镀铬的石英基片上做图形，图形由透光（无铬）和不透光（有铬）区域组成，最小线宽就是掩模图形中最窄线条的宽度。我实验室可以制作图形面积不大于400mm2的掩模，收费比公司便宜得多哈。 联系电话：15108299816赵工 邮箱：zyy44138172@126.com |
6楼2011-03-30 22:10:08
quanten
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yjsdaniel
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