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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 光刻胶上蒸镀金属膜，发现起泡开裂。
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买酒白云边

金虫 (知名作家)
引用回帖:
7楼: Originally posted by pengjinabc at 2016-01-08 00:26:09
光刻胶用的是AZ5214，热固性性还是热熔性不大清楚，是很常用的光刻胶。
材料本身应该问题不大，因为之前在硅片上镀一百多纳米没什么问题，但在光刻胶上一镀就起泡。
我都怀疑是不是因为初始镀膜时起泡，之后继续 ...

你没弄清楚我要表达的主题啊
硅片耐的住高温 不代表胶耐得住高温啊
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人造金刚石及其制品And周边设备
11楼2016-01-08 14:26:13
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zipperzinc

木虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by zipperzinc at 2016-01-07 23:44:35
会不会是烘烤工艺不合适导致胶膜起泡了，升温速率慢点试试

这要看胶层厚度了，如果是薄层表面就能看出来，如果是厚层，很有可能在内部

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赠人玫瑰，手留余香
12楼2016-01-09 13:03:28
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苏州MEMS

禁虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★ ★
明亮的眼眸: 金币+1, 感谢新虫来工艺技术版交流噢 ^_^ 2016-01-11 22:46:10
pengjinabc: 金币+5, ★有帮助 2016-01-13 23:50:45
本帖内容被屏蔽
13楼2016-01-11 17:33:28
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pengjinabc

至尊木虫 (正式写手)
引用回帖:
13楼: Originally posted by 苏州MEMS at 2016-01-11 17:33:28
你AZ5214的烘烤条件是？我觉得是有点不够，像是没有烘烤够，遇热时产生氮气导致的，楼主试着将烘烤时间加长，看看能否解决

你说的烘烤是反转曝光前的烘烤 还是显影完后在镀膜前进行烘烤？
我们之前显完影后没有进行烘烤，直接拿去镀膜了。
是不是显完影后还要用热台烘一下？
今天把片子放进镀膜机前，用热台100℃烘了十分钟，应该够了吧？
就怕烘过头了。
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14楼2016-01-13 23:53:08
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pengjinabc

至尊木虫 (正式写手)
我们之前显完影后没有进行烘烤，直接拿去镀膜了。
是不是显完影后还要用热台烘一下？
今天把片子放进镀膜机前，用热台100℃烘了十分钟，应该够了吧？
就怕烘过头了。
这个片子镀膜时开裂，会不会与我们显影后没有烘烤片子有关？
一般AZ5214e光刻胶显完影后，需要用热台多少摄氏度烘烤多久？
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15楼2016-01-13 23:56:32
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
★ ★
pengjinabc(明亮的眼眸代发): 金币+2, 感谢回帖，欢迎常来工艺技术版！ 2016-03-13 22:37:49
我怀疑是光刻胶本身的问题，如果是烘烤温度和时间没设定好，出现的情况也不是这样。

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16楼2016-01-13 23:59:18
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pengjinabc

至尊木虫 (正式写手)
引用回帖:
16楼: Originally posted by 勿忘心安里 at 2016-01-13 23:59:18
我怀疑是光刻胶本身的问题，如果是烘烤温度和时间没设定好，出现的情况也不是这样。

是吗，但是把镀膜的厚度降低，相同的工艺，我前两天做的片子就开裂，别人相同工艺不过做出来的片子放了一段时间了（快一周了）镀膜就不开裂。
我们显影后都没烘烤。这样我就怀疑是不是它放的时间比较久，一些东西挥发了，所以不开裂？那是不是涉及显影后烘烤的问题？
那你说显影后不烘烤，然后镀膜温度比较高应该是怎么样的现象？

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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17楼2016-01-14 00:05:54
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
看的有点儿晕了。建议只供参考。

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18楼2016-01-14 11:56:17
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瀚海先生

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

利用真空镀膜试一下
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为了一个目标奋斗
19楼2016-03-14 08:37:26
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pengjinabc

至尊木虫 (正式写手)
引用回帖:
19楼: Originally posted by 瀚海先生 at 2016-03-14 08:37:26
利用真空镀膜试一下

本来就是真空镀膜啊。
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20楼2016-03-14 09:33:14
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