| 查看: 7732 | 回复: 22 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
pengjinabc至尊木虫 (正式写手)
|
[求助]
光刻胶上蒸镀金属膜，发现起泡开裂。 已有4人参与
|
|
|
最近在硅片上涂聚酰亚胺薄膜，然后用光刻胶AZ5214做掩膜，蒸镀金属几百纳米。取出来发现片子上光刻胶区域的金属膜有很多小裂纹，分布于整个片子表面。Lift-off之后，发现原光刻胶区域的小裂纹处有很多金属细纹，明显是光刻胶在镀膜过程中开裂了，金属从裂纹蒸镀进去了。 为了找出是什么原因。今天直接在硅片上旋涂光刻胶AZ5214，没有进行光刻，直接烘烤。然后镀了100nm左右的金属膜，取出后发现片子光刻胶上蒸镀的金属层有很多点，用显微镜观察发现是一个个小泡（金属层起小泡了）（小泡的直径在50微米到200微米之间）。将小泡戳破后发现，是光刻胶上的金属层起泡。 请问各位虫友，为什么会出现这样的情况？（蒸镀金属几百纳米，金属层开裂 和 蒸镀金属100纳米，金属层起泡）。 {金属层开裂那时是在硅片上涂了一层聚酰亚胺膜，再在上面用光刻胶AZ5214做的掩膜层，镀金属厚度差不多三四百纳米。 金属层起小泡那时时直接在硅片上涂AZ5214光刻胶层，没有进行曝光显影，只是直接烘烤固化，再进行镀膜。} 这种情况虫友们知道问题出在哪了吗？ 是蒸镀温度的问题还是光刻胶或聚酰亚胺层的问题？ 图片是金属层起的小泡的显微照片。  戳破的小泡  不是小泡，但也有起皱，应是起泡的前奏  金属层起的小泡，有些区域特别密集 |
回复此楼» 本帖已获得的红花（最新10朵）
何以1995» 猜你喜欢
美国UNMC药学院招聘药学、化学和生物学博士后和技术员
已经有0人回复
-
今年面上没有消息，想来是没了，散个金攒攒人品，为明年祈福
已经有698人回复
-
高分子科学论文润色/翻译怎么收费?
已经有142人回复
-
合肥工业大学854仪器技术综合专业课考研
已经有0人回复
-
27年电化学博士毕业，想找海外QS前50的高校读博后求推荐
已经有3人回复
-
27年电池/材料类博士申请
已经有2人回复
-
邀您投稿 Polymers 特刊
已经有5人回复
-
2027年博士申请或转博科研助理 求推荐
已经有1人回复
-
氯化钠与有机磺酸分离
已经有0人回复
-
酚醛树脂微球制备
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 用廉价的铜布线实现大尺寸触摸面板
已经有5人回复
pengjinabc
至尊木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 10259.5
- 红花: 1
- 帖子: 382
- 在线: 271.6小时
- 虫号: 1520258
- 注册: 2011-12-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
7楼2016-01-08 00:26:09
2楼2016-01-07 23:01:37
pengjinabc
至尊木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 10259.5
- 红花: 1
- 帖子: 382
- 在线: 271.6小时
- 虫号: 1520258
- 注册: 2011-12-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
3楼2016-01-07 23:11:23
4楼2016-01-07 23:20:00
