| 查看: 7028 | 回复: 22 | ||
pengjinabc至尊木虫 (正式写手)
|
[求助]
光刻胶上蒸镀金属膜，发现起泡开裂。 已有4人参与
|
|
最近在硅片上涂聚酰亚胺薄膜，然后用光刻胶AZ5214做掩膜，蒸镀金属几百纳米。取出来发现片子上光刻胶区域的金属膜有很多小裂纹，分布于整个片子表面。Lift-off之后，发现原光刻胶区域的小裂纹处有很多金属细纹，明显是光刻胶在镀膜过程中开裂了，金属从裂纹蒸镀进去了。 为了找出是什么原因。今天直接在硅片上旋涂光刻胶AZ5214，没有进行光刻，直接烘烤。然后镀了100nm左右的金属膜，取出后发现片子光刻胶上蒸镀的金属层有很多点，用显微镜观察发现是一个个小泡（金属层起小泡了）（小泡的直径在50微米到200微米之间）。将小泡戳破后发现，是光刻胶上的金属层起泡。 请问各位虫友，为什么会出现这样的情况？（蒸镀金属几百纳米，金属层开裂 和 蒸镀金属100纳米，金属层起泡）。 {金属层开裂那时是在硅片上涂了一层聚酰亚胺膜，再在上面用光刻胶AZ5214做的掩膜层，镀金属厚度差不多三四百纳米。 金属层起小泡那时时直接在硅片上涂AZ5214光刻胶层，没有进行曝光显影，只是直接烘烤固化，再进行镀膜。} 这种情况虫友们知道问题出在哪了吗？ 是蒸镀温度的问题还是光刻胶或聚酰亚胺层的问题？ 图片是金属层起的小泡的显微照片。  戳破的小泡  不是小泡，但也有起皱，应是起泡的前奏  金属层起的小泡，有些区域特别密集 |
回复此楼» 本帖已获得的红花（最新10朵）
何以1995» 猜你喜欢
浙江qz高校招收调剂硕士研究生，可联系。
已经有0人回复
-
华南师范大学招收2026年调剂生
已经有1人回复
-
高分子科学论文润色/翻译怎么收费?
已经有157人回复
-
上海工程大学吾麦尔老师招收药学相关专业调剂考生
已经有0人回复
-
广东医科大学（东莞松山湖校区）生物医学工程学术型硕士接收调剂！
已经有7人回复
-
浙江衢州，化材调剂信息（欢迎0854电气、0855机械、0856及各位符合的同学咨询哦）
已经有7人回复
-
江西科技师范大学分析化学专业段学民教授课题组招聘调剂学生
已经有11人回复
-
材料与化工专硕（材料工程）有调剂名额
已经有1人回复
-
赣南医科大学-医学信息工程学院-组织工程材料/生物医用高分子材料 调剂招生
已经有0人回复
-
2026广东医科大学生物医学工程学硕接收调剂！
已经有20人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 用廉价的铜布线实现大尺寸触摸面板
已经有5人回复
2楼2016-01-07 23:01:37
pengjinabc
至尊木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 10268.5
- 红花: 1
- 帖子: 381
- 在线: 271.1小时
- 虫号: 1520258
- 注册: 2011-12-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
3楼2016-01-07 23:11:23
4楼2016-01-07 23:20:00
zipperzinc
木虫 (正式写手)
- 应助: 10 (幼儿园)
- 金币: 3443.8
- 散金: 15
- 红花: 9
- 帖子: 574
- 在线: 141.5小时
- 虫号: 1304751
- 注册: 2011-05-24
- 性别: GG
- 专业: 集成电路制造与封装
【答案】应助回帖
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
pengjinabc: 金币+2, ★有帮助, 烘烤光刻胶我们一般都是一百多度烘烤，没有升温过程。直接放到热台上。但是烘烤过得光刻胶表面很平整啊，胶膜没有起泡。 2016-01-08 00:20:51
感谢参与，应助指数 +1
pengjinabc: 金币+2, ★有帮助, 烘烤光刻胶我们一般都是一百多度烘烤，没有升温过程。直接放到热台上。但是烘烤过得光刻胶表面很平整啊，胶膜没有起泡。 2016-01-08 00:20:51
|
会不会是烘烤工艺不合适导致胶膜起泡了，升温速率慢点试试 发自小木虫Android客户端 |
5楼2016-01-07 23:44:35
6楼2016-01-07 23:58:32
pengjinabc
至尊木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 10268.5
- 红花: 1
- 帖子: 381
- 在线: 271.1小时
- 虫号: 1520258
- 注册: 2011-12-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
7楼2016-01-08 00:26:09
pengjinabc
至尊木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 10268.5
- 红花: 1
- 帖子: 381
- 在线: 271.1小时
- 虫号: 1520258
- 注册: 2011-12-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
8楼2016-01-08 00:29:57
pengjinabc
至尊木虫 (正式写手)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 10268.5
- 红花: 1
- 帖子: 381
- 在线: 271.1小时
- 虫号: 1520258
- 注册: 2011-12-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
9楼2016-01-08 09:11:24
10楼2016-01-08 14:22:55
