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光刻胶上蒸镀金属膜,发现起泡开裂。
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银虫
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注册: 2015-04-20
性别: GG
专业: 半导体微纳机电器件与系统
我遇到过镀膜时间长了爆胶的,感觉第一可能是你镀膜时间长了,试着分几次看看。第二可以试下镀膜前坚下膜
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21楼
2017-10-28 23:26:01
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nmliuhai
铜虫
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虫号: 343033
注册: 2007-04-11
性别: GG
专业: 光学
您好,您镀膜光刻胶开裂原因找到了吗?我们也遇到了相同的问题
发自小木虫Android客户端
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22楼
2018-09-28 22:31:22
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何以1995
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虫号: 13053079
注册: 2018-12-05
送红花一朵
你好,我们也遇到了类似的问题,请问楼主当时怎么解决的?
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23楼
2022-03-02 12:55:08
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