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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 光刻胶上蒸镀金属膜，发现起泡开裂。
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pengjinabc

至尊木虫 (正式写手)

[求助] 光刻胶上蒸镀金属膜，发现起泡开裂。 已有4人参与

最近在硅片上涂聚酰亚胺薄膜，然后用光刻胶AZ5214做掩膜，蒸镀金属几百纳米。取出来发现片子上光刻胶区域的金属膜有很多小裂纹，分布于整个片子表面。Lift-off之后，发现原光刻胶区域的小裂纹处有很多金属细纹，明显是光刻胶在镀膜过程中开裂了，金属从裂纹蒸镀进去了。
为了找出是什么原因。今天直接在硅片上旋涂光刻胶AZ5214，没有进行光刻，直接烘烤。然后镀了100nm左右的金属膜，取出后发现片子光刻胶上蒸镀的金属层有很多点，用显微镜观察发现是一个个小泡（金属层起小泡了）（小泡的直径在50微米到200微米之间）。将小泡戳破后发现，是光刻胶上的金属层起泡。
请问各位虫友，为什么会出现这样的情况？（蒸镀金属几百纳米，金属层开裂 和 蒸镀金属100纳米，金属层起泡）。
{金属层开裂那时是在硅片上涂了一层聚酰亚胺膜，再在上面用光刻胶AZ5214做的掩膜层，镀金属厚度差不多三四百纳米。
金属层起小泡那时时直接在硅片上涂AZ5214光刻胶层，没有进行曝光显影，只是直接烘烤固化，再进行镀膜。}
这种情况虫友们知道问题出在哪了吗？
是蒸镀温度的问题还是光刻胶或聚酰亚胺层的问题？
图片是金属层起的小泡的显微照片。
光刻胶上蒸镀金属膜，发现起泡开裂。
戳破的小泡


光刻胶上蒸镀金属膜，发现起泡开裂。-1
不是小泡，但也有起皱，应是起泡的前奏


光刻胶上蒸镀金属膜，发现起泡开裂。-2
金属层起的小泡，有些区域特别密集
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何以1995

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1楼 2016-01-07 22:42:49
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匿名

用户注销 (小有名气)
★
明亮的眼眸: 金币+1, 欢迎新虫常来工艺技术版块噢 ^_^ 积极提出自己的疑问 2016-01-09 22:39:53
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2楼2016-01-07 23:01:37
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pengjinabc

至尊木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 王玉滨 at 2016-01-07 23:01:37
师兄，您好！请问下如果是要在硅片上刻微通道，涂抹的膜还需要不？PS：新人刚接触，望海涵哦！

是刻蚀吗？我没做过，不过从原理上说，必须保留啊，从硅片上没有光刻胶的区域刻蚀进去。
你只说刻微通道我不知道你具体的工艺是什么，所以不好回答。
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3楼2016-01-07 23:11:23
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匿名

用户注销 (小有名气)
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4楼2016-01-07 23:20:00
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zipperzinc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
pengjinabc: 金币+2, ★有帮助, 烘烤光刻胶我们一般都是一百多度烘烤，没有升温过程。直接放到热台上。但是烘烤过得光刻胶表面很平整啊，胶膜没有起泡。 2016-01-08 00:20:51
会不会是烘烤工艺不合适导致胶膜起泡了，升温速率慢点试试

发自小木虫Android客户端
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赠人玫瑰，手留余香
5楼2016-01-07 23:44:35
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买酒白云边

金虫 (知名作家)
★ ★
pengjinabc(明亮的眼眸代发): 金币+2, 感谢回帖，欢迎常来工艺技术版！ 2016-03-13 22:38:10
蒸镀时气态金属蒸汽凝固会放热的
你的两种胶耐温，热固性？热熔性
明显是胶里面有气体析出嘛
开裂就是加速老化或者失效的一种模式
如果材料本身hold住，那问题就在前处理，可以预热驱赶气，酒精洗或者打石蜡填孔，电吹风吹吹就很光滑了
如果材料本身hold不住，就降低镀速，让热量在材料承受范围以内

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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人造金刚石及其制品And周边设备
6楼2016-01-07 23:58:32
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pengjinabc

至尊木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 买酒白云边 at 2016-01-07 23:58:32
蒸镀时气态金属蒸汽凝固会放热的
你的两种胶耐温，热固性？热熔性
明显是胶里面有气体析出嘛
开裂就是加速老化或者失效的一种模式
如果材料本身hold住，那问题就在前处理，可以预热驱赶气，酒精洗或者打石蜡填孔 ...

光刻胶用的是AZ5214，热固性性还是热熔性不大清楚，是很常用的光刻胶。
材料本身应该问题不大，因为之前在硅片上镀一百多纳米没什么问题，但在光刻胶上一镀就起泡。
我都怀疑是不是因为初始镀膜时起泡，之后继续镀，起泡的程度发展导致开裂。
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7楼2016-01-08 00:26:09
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pengjinabc

至尊木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 王玉滨 at 2016-01-07 23:20:00
谢谢师兄！我做的是微萃取，想在硅片上开微通道，用于液相流动。
...

那我就不清楚了。
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8楼2016-01-08 00:29:57
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pengjinabc

至尊木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 王玉滨 at 2016-01-07 23:20:00
谢谢师兄！我做的是微萃取，想在硅片上开微通道，用于液相流动。
...

开微通道一般是可以用刻蚀液刻蚀或RIE、ICP刻蚀，如果这样的话，可以在不想刻蚀的地方做光刻胶或其他掩膜，这样没有掩膜的地方就能被刻蚀下去。
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9楼2016-01-08 09:11:24
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enohk

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
pengjinabc(明亮的眼眸代发): 金币+3, 感谢回帖，欢迎常来工艺技术版！ 2016-03-13 22:37:02
温度放低一点，缩短高温的镀膜的时间，涂层再镀膜，涂层表面不平整 或者不牢固，再遇到高温骤冷骤热，镀膜效果能好吗？
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干燥箱，氮气柜，洁净烘箱，真空烘箱，无氧烘箱，温湿度环境试验设备www.enohk.com
10楼2016-01-08 14:22:55
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