应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 对于铁电材料的离子束刻蚀工艺研究
121/1返回列表
查看: 736  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[交流] 对于铁电材料的离子束刻蚀工艺研究

请问 对于铁电材料的离子束刻蚀工艺研究，除了对工艺参数的全面研究外，对刻蚀形貌和性能损伤的研究能怎样细化。查阅大量文献发现，涉及的太少。完全从刻蚀工艺的角度研究的论文几乎没有，可能是我还未找到。希望大家能给一些建议或者资料，谢谢回复！还有的是，听过来人说，做工艺的人很难发英文的文章，我本人还是很希望能发一篇英文的论文，想听听大家怎么分析。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2015-12-28 10:51:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhuguiqiu

禁虫 (文坛精英)
★
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
2楼2015-12-28 10:52:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhonghua210

木虫 (正式写手)
★
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
刻蚀的话可以考虑刻蚀参数（功率、气体比例、腔体压力、偏压等）对铁电材料刻蚀结果的影响（刻蚀形貌、刻蚀速度、表面粗糙度、表面损伤等）。此外，还可以尝试讨论下刻蚀机理。希望能帮到你！

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
6楼2015-12-28 11:46:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by zhonghua210 at 2015-12-28 11:46:09
刻蚀的话可以考虑刻蚀参数（功率、气体比例、腔体压力、偏压等）对铁电材料刻蚀结果的影响（刻蚀形貌、刻蚀速度、表面粗糙度、表面损伤等）。此外，还可以尝试讨论下刻蚀机理。希望能帮到你！
...

刻蚀损伤机理部分不知如何入手，要找到创新点太难了。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
12楼2015-12-28 13:06:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
shenrenren3楼
2015-12-28 11:16   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
liucheng8834楼
2015-12-28 11:24   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
假大空5楼
2015-12-28 11:29   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
hodydo7楼
2015-12-28 11:50   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
keoxri8楼
2015-12-28 11:50   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
吉海9楼
2015-12-28 11:50   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
.
coco8610楼
2015-12-28 11:51   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
cmyfna11楼
2015-12-28 11:51   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
相关版块跳转 我要订阅楼主 勿忘心安里 的主题更新
121/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭