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对于铁电材料的离子束刻蚀工艺研究
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| 请问 对于铁电材料的离子束刻蚀工艺研究,除了对工艺参数的全面研究外,对刻蚀形貌和性能损伤的研究能怎样细化。查阅大量文献发现,涉及的太少。完全从刻蚀工艺的角度研究的论文几乎没有,可能是我还未找到。希望大家能给一些建议或者资料,谢谢回复!还有的是,听过来人说,做工艺的人很难发英文的文章,我本人还是很希望能发一篇英文的论文,想听听大家怎么分析。 |
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2楼2015-12-28 10:52:24
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刻蚀的话可以考虑刻蚀参数(功率、气体比例、腔体压力、偏压等)对铁电材料刻蚀结果的影响(刻蚀形貌、刻蚀速度、表面粗糙度、表面损伤等)。此外,还可以尝试讨论下刻蚀机理。希望能帮到你! 发自小木虫IOS客户端 |
6楼2015-12-28 11:46:09
12楼2015-12-28 13:06:47
简单回复
2015-12-28 11:16
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2015-12-28 11:24
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假大空5楼
2015-12-28 11:29
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hodydo7楼
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keoxri8楼
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吉海9楼
2015-12-28 11:50
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coco8610楼
2015-12-28 11:51
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cmyfna11楼
2015-12-28 11:51
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