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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 对于铁电材料的离子束刻蚀工艺研究
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[交流] 对于铁电材料的离子束刻蚀工艺研究

请问 对于铁电材料的离子束刻蚀工艺研究，除了对工艺参数的全面研究外，对刻蚀形貌和性能损伤的研究能怎样细化。查阅大量文献发现，涉及的太少。完全从刻蚀工艺的角度研究的论文几乎没有，可能是我还未找到。希望大家能给一些建议或者资料，谢谢回复！还有的是，听过来人说，做工艺的人很难发英文的文章，我本人还是很希望能发一篇英文的论文，想听听大家怎么分析。
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1楼 2015-12-28 10:51:48
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zhonghua210

木虫 (正式写手)
★
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
刻蚀的话可以考虑刻蚀参数（功率、气体比例、腔体压力、偏压等）对铁电材料刻蚀结果的影响（刻蚀形貌、刻蚀速度、表面粗糙度、表面损伤等）。此外，还可以尝试讨论下刻蚀机理。希望能帮到你！

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6楼2015-12-28 11:46:09
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by zhonghua210 at 2015-12-28 11:46:09
刻蚀的话可以考虑刻蚀参数（功率、气体比例、腔体压力、偏压等）对铁电材料刻蚀结果的影响（刻蚀形貌、刻蚀速度、表面粗糙度、表面损伤等）。此外，还可以尝试讨论下刻蚀机理。希望能帮到你！
...

刻蚀损伤机理部分不知如何入手，要找到创新点太难了。

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12楼2015-12-28 13:06:47
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