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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

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[交流] 对于铁电材料的离子束刻蚀工艺研究

请问对于铁电材料的离子束刻蚀工艺研究，除了对工艺参数的全面研究外，对刻蚀形貌和性能损伤的研究能怎样细化。查阅大量文献发现，涉及的太少。完全从刻蚀工艺的角度研究的论文几乎没有，可能是我还未找到。希望大家能给一些建议或者资料，谢谢回复！还有的是，听过来人说，做工艺的人很难发英文的文章，我本人还是很希望能发一篇英文的论文，想听听大家怎么分析。

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1楼 2015-12-28 10:51:48

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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

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引用回帖:

6楼: Originally posted by zhonghua210 at 2015-12-28 11:46:09
刻蚀的话可以考虑刻蚀参数（功率、气体比例、腔体压力、偏压等）对铁电材料刻蚀结果的影响（刻蚀形貌、刻蚀速度、表面粗糙度、表面损伤等）。此外，还可以尝试讨论下刻蚀机理。希望能帮到你！
...

刻蚀损伤机理部分不知如何入手，要找到创新点太难了。

发自小木虫Android客户端