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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[交流] SEM测刻蚀后的样品横截面,怎样切割样品 已有11人参与

请问  SEM测刻蚀后的样品横截面,怎样切割样品?大家是怎样切割的,请发的详细些。谢谢回复!
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jedi-j

铁杆木虫 (职业作家)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
21楼: Originally posted by 勿忘心安里 at 2015-12-25 23:40:47
不好意思,我看的太慢了,全是繁体字,头大了,谢谢你的诚恳回复!我的好好研究其中意思。
...

是我疏忽

在 wafer 下方 notch附近,以钻石刀笔(其实可能是钨钢头)很快用力划一缺口。
然後用缝衣针(最好用胶固定在纸板之类上面)垫在 wafer背後,
notch 在下方,保持缝衣针纵向。略为露出一头,对准刚刚划出的缺口。
放在桌上轻轻施加压力,wafer?由缺口沿著缝衣针烈出一条漂亮笔直的列线。
以上所述,缺口的位置决定纵向裂线 x位置。

发自小木虫Android客户端
22楼2015-12-26 00:39:24
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jhwang2010

银虫 (正式写手)

2楼2015-12-24 22:28:38
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491406219

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
一般是氩离子刻蚀,好的仪器自带刻蚀功能,表面刻蚀后再扫描观察表面。

发自小木虫Android客户端
just be yourself
3楼2015-12-25 00:14:16
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by jhwang2010 at 2015-12-24 22:28:38
线切割

线切割可能会很大程度上伤害我的样品。毕竟图形只有微米级别

发自小木虫Android客户端
4楼2015-12-25 09:26:29
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