| 查看: 2202 | 回复: 19 | ||||
audrey380104银虫 (小有名气)
|
[求助]
如何加工25nm宽的纳米沟道已有4人参与
|
|||
|
大家好，我现在想在SiO2或者Si上加工规则整齐的竖直向下的纳米沟道，如下图所示： 方法可以是电子束曝光（EBL）或者聚焦离子束(FIB)加工，最好是EBL。由于之前没有亲自操作过EBL，所以对于加工只有25nm左右宽度的沟道不太了解。看文献上说这之中会遇到诸如邻近效应等的影响，知道了可以通过调节曝光和刻蚀过程中的各项参数来尽量修正临近效应。请大家给我点意见和建议，关于怎么较好的制备出这样的纳米沟道。谢谢    nanotrench.png |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜材料和器件制备 |
» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有82人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 新一代磁材料
已经有5人回复
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
audrey380104: 金币+50, ★★★很有帮助 2015-12-26 06:08:16
感谢参与，应助指数 +1
audrey380104: 金币+50, ★★★很有帮助 2015-12-26 06:08:16
|
2：1就已经很难了，10：1不可能。侧刻会把你的结构吃光的。 RIE肯定不行，ICP或者DRIE也很难。 你这个设计高宽比是硬伤。而且垂直度也是没办法做到的一个陷阱。 至于光刻，别想了，只有EBL适合。麻烦的是，找一款合适的光刻胶会很麻烦，因为你这个要干刻，要能抗得住刻蚀，最好是HSQ，但这个胶用起来相当麻烦。你要自己做的话，光摸条件和准备材料就会疯的，最好找成熟的实验室做。 |
11楼2015-12-25 13:41:23
caojingpie
木虫 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 2302.9
- 散金: 15
- 帖子: 173
- 在线: 55.8小时
- 虫号: 4213592
- 注册: 2015-11-12
- 性别: GG
- 专业: 金属非晶态、准晶和纳米晶
8楼2015-12-24 12:44:40
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
19楼2015-12-28 12:31:31
感谢参与，应助指数 +1
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2015-12-24 09:41:14
3楼2015-12-24 10:33:12
audrey380104
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 399.8
- 红花: 1
- 帖子: 117
- 在线: 373.3小时
- 虫号: 1348752
- 注册: 2011-07-18
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
4楼2015-12-24 11:31:37
audrey380104
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 399.8
- 红花: 1
- 帖子: 117
- 在线: 373.3小时
- 虫号: 1348752
- 注册: 2011-07-18
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
5楼2015-12-24 11:32:07
|
本帖内容被屏蔽 |
6楼2015-12-24 11:58:14
上善若水-1
至尊木虫 (文坛精英)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 33992.3
- 散金: 889
- 红花: 7
- 帖子: 10120
- 在线: 483.9小时
- 虫号: 1768078
- 注册: 2012-04-20
- 性别: GG
- 专业: 化工系统工程
7楼2015-12-24 12:01:17
9楼2015-12-24 13:03:16
邪恶的大肉丸
金虫 (著名写手)
- 应助: 76 (初中生)
- 金币: 1039.3
- 散金: 306
- 红花: 13
- 帖子: 1222
- 在线: 278.2小时
- 虫号: 2490147
- 注册: 2013-05-31
- 性别: GG
- 专业: 环境分析化学
10楼2015-12-25 13:39:44