| 查看: 2198 | 回复: 19 | ||||
yswyx
|
 |
专家经验: +651 |
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
audrey380104: 金币+50, ★★★很有帮助 2015-12-26 06:08:16
感谢参与，应助指数 +1
audrey380104: 金币+50, ★★★很有帮助 2015-12-26 06:08:16
|
2：1就已经很难了，10：1不可能。侧刻会把你的结构吃光的。 RIE肯定不行，ICP或者DRIE也很难。 你这个设计高宽比是硬伤。而且垂直度也是没办法做到的一个陷阱。 至于光刻，别想了，只有EBL适合。麻烦的是，找一款合适的光刻胶会很麻烦，因为你这个要干刻，要能抗得住刻蚀，最好是HSQ，但这个胶用起来相当麻烦。你要自己做的话，光摸条件和准备材料就会疯的，最好找成熟的实验室做。 |
回复此楼11楼2015-12-25 13:41:23
|
本帖内容被屏蔽 |
12楼2015-12-25 14:24:31
audrey380104
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 399.8
- 红花: 1
- 帖子: 117
- 在线: 373.3小时
- 虫号: 1348752
- 注册: 2011-07-18
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
13楼2015-12-26 06:07:52
reninhat
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 80 (初中生)
- 金币: 6133.8
- 散金: 117
- 红花: 5
- 帖子: 332
- 在线: 428.4小时
- 虫号: 2238571
- 注册: 2013-01-13
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
14楼2015-12-26 08:16:40
15楼2015-12-26 10:37:52
xiangan315
至尊木虫 (文坛精英)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 44160.8
- 红花: 15
- 帖子: 12489
- 在线: 1176小时
- 虫号: 573241
- 注册: 2008-06-13
- 专业: 半导体电子器件
16楼2015-12-26 16:24:33
诡刺
铜虫 (职业作家)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 3301.2
- 散金: 2364
- 红花: 35
- 沙发: 19
- 帖子: 3071
- 在线: 780.5小时
- 虫号: 1209385
- 注册: 2011-02-22
- 专业: 结构化学
17楼2015-12-26 16:45:26
audrey380104
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 399.8
- 红花: 1
- 帖子: 117
- 在线: 373.3小时
- 虫号: 1348752
- 注册: 2011-07-18
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
良药苦口啊18楼2015-12-27 08:05:52
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
19楼2015-12-28 12:31:31
audrey380104
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 399.8
- 红花: 1
- 帖子: 117
- 在线: 373.3小时
- 虫号: 1348752
- 注册: 2011-07-18
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
，没办法，工作就是这个20楼2015-12-29 22:42:50