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yswyx
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【答案】应助回帖
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audrey380104: 金币+50, ★★★很有帮助 2015-12-26 06:08:16
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audrey380104: 金币+50, ★★★很有帮助 2015-12-26 06:08:16
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2：1就已经很难了，10：1不可能。侧刻会把你的结构吃光的。 RIE肯定不行，ICP或者DRIE也很难。 你这个设计高宽比是硬伤。而且垂直度也是没办法做到的一个陷阱。 至于光刻，别想了，只有EBL适合。麻烦的是，找一款合适的光刻胶会很麻烦，因为你这个要干刻，要能抗得住刻蚀，最好是HSQ，但这个胶用起来相当麻烦。你要自己做的话，光摸条件和准备材料就会疯的，最好找成熟的实验室做。 |
回复此楼11楼2015-12-25 13:41:23
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12楼2015-12-25 14:24:31
audrey380104
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13楼2015-12-26 06:07:52
reninhat
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14楼2015-12-26 08:16:40
superceng
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15楼2015-12-26 10:37:52
xiangan315
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16楼2015-12-26 16:24:33
诡刺
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17楼2015-12-26 16:45:26
audrey380104
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良药苦口啊 18楼2015-12-27 08:05:52
yswyx 
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19楼2015-12-28 12:31:31
audrey380104
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，没办法，工作就是这个 20楼2015-12-29 22:42:50
