| 查看: 2333 | 回复: 19 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
audrey380104银虫 (小有名气)
|
[求助]
如何加工25nm宽的纳米沟道 已有4人参与
|
|
|
大家好，我现在想在SiO2或者Si上加工规则整齐的竖直向下的纳米沟道，如下图所示： 方法可以是电子束曝光（EBL）或者聚焦离子束(FIB)加工，最好是EBL。由于之前没有亲自操作过EBL，所以对于加工只有25nm左右宽度的沟道不太了解。看文献上说这之中会遇到诸如邻近效应等的影响，知道了可以通过调节曝光和刻蚀过程中的各项参数来尽量修正临近效应。请大家给我点意见和建议，关于怎么较好的制备出这样的纳米沟道。谢谢    nanotrench.png |
回复此楼» 猜你喜欢
求调剂
已经有3人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有55人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有26人回复
-
纺大化工学院（官方群）-院士团队招生-学生自由度高发展好-培养模式成熟
已经有0人回复
-
温州大学化材学院王娟课题组招生
已经有5人回复
-
学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟已有10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
武汉纺织大学化工学院官方群-院士团队招生-学生自由度高-10余名学生赴985海外深造
已经有0人回复
-
南昌航空大学蒋华麟教授课题组招收化学、环境、碳达峰碳中和及相关专业硕士信息
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
reninhat
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 80 (初中生)
- 金币: 6133.8
- 散金: 117
- 红花: 5
- 帖子: 332
- 在线: 428.4小时
- 虫号: 2238571
- 注册: 2013-01-13
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
14楼2015-12-26 08:16:40
感谢参与，应助指数 +1
|
本帖内容被屏蔽 |
2楼2015-12-24 09:41:14
3楼2015-12-24 10:33:12
audrey380104
银虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 399.8
- 红花: 1
- 帖子: 117
- 在线: 373.3小时
- 虫号: 1348752
- 注册: 2011-07-18
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
4楼2015-12-24 11:31:37
