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audrey380104银虫 (小有名气)
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[求助]
如何加工25nm宽的纳米沟道 已有4人参与
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大家好，我现在想在SiO2或者Si上加工规则整齐的竖直向下的纳米沟道，如下图所示： 方法可以是电子束曝光（EBL）或者聚焦离子束(FIB)加工，最好是EBL。由于之前没有亲自操作过EBL，所以对于加工只有25nm左右宽度的沟道不太了解。看文献上说这之中会遇到诸如邻近效应等的影响，知道了可以通过调节曝光和刻蚀过程中的各项参数来尽量修正临近效应。请大家给我点意见和建议，关于怎么较好的制备出这样的纳米沟道。谢谢    nanotrench.png |
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 薄膜材料和器件制备 |
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audrey380104
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