应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 磁控离子溅射二氧化硅膜
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
51/1返回列表
查看: 1240  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

mrfunny

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控离子溅射二氧化硅膜 已有4人参与

想咨询下，利用磁控离子溅射二氧化硅膜，可以直接拿二氧化硅来做靶材镀膜吗？有没有大神这样做过，如果可以应该注意些什么呀？谢谢了！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-12-23 10:53:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

perry_ping

新虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★
mrfunny(明亮的眼眸代发): 金币+1, 感谢交流~~~欢迎常来工艺技术版~O(∩_∩)O 2016-03-24 22:52:27
直接热氧化不是挺好的

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
4楼2016-01-25 20:18:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 6 个回答

rikasu

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mrfunny(明亮的眼眸代发): 金币+3, 感谢交流~~~欢迎常来工艺技术版~O(∩_∩)O 2015-12-26 23:05:48
可以的，二氧化硅靶材是陶瓷靶材，我们这边买的时候绑了块铜板，注意功率和温度。忘记我师兄在中诺新材买的还是研诺信诚买的了。
赞一下(1人) 回复此楼
我就是我，颜色不一样的烟火
2楼2015-12-25 16:44:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lisx2525

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
明亮的眼眸: 金币+2, 感谢应助回帖，常来工艺技术版! 2016-01-25 20:50:30
如果是研发型的设备 你直接用SiO2 靶材做 SiO2， 射频溅射， 补一些氧气 ，镀膜过程中如果可以加一些温度最好
如果是生产型设备Si +O2 = SiOx, 中频溅射的多， 在加上个反应溅射控制系统，镀膜速率更快 。

研发型的SiO2 靶材不是很贵，可以不邦定（邦定价格太贵）。 功率加的小一点接口，防止靶材镀膜过程中裂掉。 或多买几块、
赞一下 回复此楼
3楼2016-01-21 13:34:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wtm_AE

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
mrfunny(明亮的眼眸代发): 金币+1, 感谢交流~~~欢迎常来工艺技术版~O(∩_∩)O 2016-03-24 22:52:41
二氧化硅靶材，通过电源离化后，直接沉积在基材上面，
赞一下 回复此楼
QQ：1723046531
5楼2016-03-24 11:38:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 6 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 291求调剂 +11 hhhhxn.. 2026-03-23 16/800 2026-03-27 14:14 by hhhhxn..
[考研] 316求调剂 +5 Pigcasso 2026-03-24 5/250 2026-03-27 12:10 by zhshch
[考研] 一志愿郑大085600，310分求调剂 +5 李潇可 2026-03-26 5/250 2026-03-27 11:14 by 不吃魚的貓
[考研] 考研调剂 +9 小蜡新笔 2026-03-26 9/450 2026-03-27 11:10 by 不吃魚的貓
[考研] 考研292求调剂 +3 YIXIAO789 2026-03-26 3/150 2026-03-27 10:51 by guoweigw
[考研] 0856材料专硕353求调剂 +9 NIFFFfff 2026-03-20 9/450 2026-03-27 10:13 by dick_runner
[考研] 276求调剂。有半年电池和半年高分子实习经历 +10 材料学257求调剂 2026-03-23 11/550 2026-03-27 10:13 by YCIT- LHL
[考研] 求调剂 +6 林之夕 2026-03-24 6/300 2026-03-27 08:38 by hypershenger
[考研] 349求调剂 +5 杰斯塔里斯 2026-03-21 5/250 2026-03-27 00:31 by wxiongid
[考研] 材料与化工304求B区调剂 +3 邱gl 2026-03-26 6/300 2026-03-26 18:03 by 邱gl
[考研] 总分293求调剂 +6 加一一九 2026-03-25 8/400 2026-03-26 13:30 by yujianx
[考研] 293求调剂 +7 加一一九 2026-03-24 7/350 2026-03-25 12:02 by userper
[考研] 调剂 +4 13853210211 2026-03-24 4/200 2026-03-24 19:44 by ms629
[考研] 一志愿河北工业大学0817化工278分求调剂 +7 jhybd 2026-03-23 12/600 2026-03-24 09:03 by jhybd
[考研] 361求调剂 +3 Glack 2026-03-22 3/150 2026-03-23 22:03 by fuyu_
[考研] 336化工调剂 +4 王大坦1 2026-03-23 5/250 2026-03-23 18:32 by allen-yin
[考研] 293求调剂 +3 涛涛Wjt 2026-03-22 5/250 2026-03-22 22:21 by jiangpengfei
[考研] 306求调剂 +5 来好运来来来 2026-03-22 5/250 2026-03-22 16:17 by BruceLiu320
[考研] 275求调剂 +6 shansx 2026-03-22 8/400 2026-03-22 15:27 by barlinike
[考研] 求调剂 +3 .m.. 2026-03-21 4/200 2026-03-21 16:25 by barlinike
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭