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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 磁控离子溅射二氧化硅膜
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mrfunny

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控离子溅射二氧化硅膜 已有4人参与

想咨询下，利用磁控离子溅射二氧化硅膜，可以直接拿二氧化硅来做靶材镀膜吗？有没有大神这样做过，如果可以应该注意些什么呀？谢谢了！
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1楼 2015-12-23 10:53:41
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lisx2525

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
明亮的眼眸: 金币+2, 感谢应助回帖，常来工艺技术版! 2016-01-25 20:50:30
如果是研发型的设备 你直接用SiO2 靶材做 SiO2， 射频溅射， 补一些氧气 ，镀膜过程中如果可以加一些温度最好
如果是生产型设备Si +O2 = SiOx, 中频溅射的多， 在加上个反应溅射控制系统，镀膜速率更快 。

研发型的SiO2 靶材不是很贵，可以不邦定（邦定价格太贵）。 功率加的小一点接口，防止靶材镀膜过程中裂掉。 或多买几块、
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3楼2016-01-21 13:34:58
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rikasu

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mrfunny(明亮的眼眸代发): 金币+3, 感谢交流~~~欢迎常来工艺技术版~O(∩_∩)O 2015-12-26 23:05:48
可以的，二氧化硅靶材是陶瓷靶材，我们这边买的时候绑了块铜板，注意功率和温度。忘记我师兄在中诺新材买的还是研诺信诚买的了。
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我就是我，颜色不一样的烟火
2楼2015-12-25 16:44:17
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perry_ping

新虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★
mrfunny(明亮的眼眸代发): 金币+1, 感谢交流~~~欢迎常来工艺技术版~O(∩_∩)O 2016-03-24 22:52:27
直接热氧化不是挺好的

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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4楼2016-01-25 20:18:48
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wtm_AE

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
mrfunny(明亮的眼眸代发): 金币+1, 感谢交流~~~欢迎常来工艺技术版~O(∩_∩)O 2016-03-24 22:52:41
二氧化硅靶材，通过电源离化后，直接沉积在基材上面，
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QQ：1723046531
5楼2016-03-24 11:38:46
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