24小时热门版块排行榜

返回列表

mrfunny

银虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 470
散金: 97
红花: 6
帖子: 163
在线: 92.8小时
虫号: 2075138
注册: 2012-10-20
性别: GG
专业: 应用高分子化学与物理

[求助] 磁控离子溅射二氧化硅膜已有4人参与

想咨询下，利用磁控离子溅射二氧化硅膜，可以直接拿二氧化硅来做靶材镀膜吗？有没有大神这样做过，如果可以应该注意些什么呀？谢谢了！

回复此楼

» 猜你喜欢

EVA相关书籍推荐已经有1人回复
临港国家实验室与上科大联合培养博士2026招生一名已经有1人回复
高分子科学论文润色/翻译怎么收费? 已经有57人回复
MRS Communications 期刊啥时候有正式页码已经有1人回复
双一流高校南京林业大学材料学院招收2026年申请考核博士生已经有0人回复
国家双一流建设高校——2026南京林业大学化学工程学院招收申请考核博士生1名已经有0人回复
临港国家实验室与上科大联合培养博士2026招生一名已经有0人回复
想读985的博没有地域要求求推荐求收留一作SCI×4 已经有1人回复
法国斯特拉斯堡大学招CSC攻读博士-超分子化学、高分子科学和有机化学合成背景已经有0人回复
色粉析出问题已经有0人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

1楼 2015-12-23 10:53:41

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

rikasu

新虫 (初入文坛)

应助: 2 (幼儿园)
金币: 39.3
帖子: 8
在线: 2.6小时
虫号: 3997145
注册: 2015-07-30
性别: MM
专业: 金属功能材料

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mrfunny(明亮的眼眸代发): 金币+3, 感谢交流~~~欢迎常来工艺技术版~O(∩_∩)O 2015-12-26 23:05:48

可以的，二氧化硅靶材是陶瓷靶材，我们这边买的时候绑了块铜板，注意功率和温度。忘记我师兄在中诺新材买的还是研诺信诚买的了。

赞一下(1人)

回复此楼

我就是我，颜色不一样的烟火

2楼2015-12-25 16:44:17

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

lisx2525

新虫 (初入文坛)

应助: 3 (幼儿园)
金币: 86.1
帖子: 31
在线: 6.9小时
虫号: 3239121
注册: 2014-05-28

【答案】应助回帖

★ ★
明亮的眼眸: 金币+2, 感谢应助回帖，常来工艺技术版! 2016-01-25 20:50:30

如果是研发型的设备你直接用SiO2 靶材做 SiO2，射频溅射，补一些氧气，镀膜过程中如果可以加一些温度最好
如果是生产型设备Si +O2 = SiOx, 中频溅射的多，在加上个反应溅射控制系统，镀膜速率更快。

研发型的SiO2 靶材不是很贵，可以不邦定（邦定价格太贵）。功率加的小一点接口，防止靶材镀膜过程中裂掉。或多买几块、

赞一下

回复此楼

3楼2016-01-21 13:34:58

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖