应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 磁控离子溅射二氧化硅膜
61/1返回列表
查看: 1186  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

mrfunny

银虫 (小有名气)

[求助] 磁控离子溅射二氧化硅膜 已有4人参与

想咨询下，利用磁控离子溅射二氧化硅膜，可以直接拿二氧化硅来做靶材镀膜吗？有没有大神这样做过，如果可以应该注意些什么呀？谢谢了！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-12-23 10:53:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

rikasu

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mrfunny(明亮的眼眸代发): 金币+3, 感谢交流~~~欢迎常来工艺技术版~O(∩_∩)O 2015-12-26 23:05:48
可以的，二氧化硅靶材是陶瓷靶材，我们这边买的时候绑了块铜板，注意功率和温度。忘记我师兄在中诺新材买的还是研诺信诚买的了。
赞一下(1人) 回复此楼
我就是我，颜色不一样的烟火
2楼2015-12-25 16:44:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lisx2525

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★
明亮的眼眸: 金币+2, 感谢应助回帖，常来工艺技术版! 2016-01-25 20:50:30
如果是研发型的设备 你直接用SiO2 靶材做 SiO2， 射频溅射， 补一些氧气 ，镀膜过程中如果可以加一些温度最好
如果是生产型设备Si +O2 = SiOx, 中频溅射的多， 在加上个反应溅射控制系统，镀膜速率更快 。

研发型的SiO2 靶材不是很贵，可以不邦定（邦定价格太贵）。 功率加的小一点接口，防止靶材镀膜过程中裂掉。 或多买几块、
赞一下 回复此楼
3楼2016-01-21 13:34:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

perry_ping

新虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
mrfunny(明亮的眼眸代发): 金币+1, 感谢交流~~~欢迎常来工艺技术版~O(∩_∩)O 2016-03-24 22:52:27
直接热氧化不是挺好的

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
4楼2016-01-25 20:18:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wtm_AE

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
mrfunny(明亮的眼眸代发): 金币+1, 感谢交流~~~欢迎常来工艺技术版~O(∩_∩)O 2016-03-24 22:52:41
二氧化硅靶材，通过电源离化后，直接沉积在基材上面，
赞一下 回复此楼
QQ：1723046531
5楼2016-03-24 11:38:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

物理所大师兄

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by rikasu at 2015-12-25 16:44:17
可以的，二氧化硅靶材是陶瓷靶材，我们这边买的时候绑了块铜板，注意功率和温度。忘记我师兄在中诺新材买的还是研诺信诚买的了。

听着怎么像一家公司，你是拖吧

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
科学不会舍弃真诚爱它的人们
6楼2017-06-13 08:58:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 mrfunny 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭