应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下
111/2返回列表12下一页
查看: 1756  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

xhs1814

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下 已有2人参与

磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2015-12-14 18:59:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

xhs1814

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Friend007 at 2015-12-18 12:06:54
一句话来概括，是因为磁控溅射时磁场对二次电子的约束作用，导致磁场跑道内工作气体如氩的离化率很高，进而导致跑道内溅射率高。形成溅射沟道。
...

我不知道画的对不对，整个靶的上方都有磁场，都可以约束氩原子，里面的圈会形成沟道，正常讲沟道上方的磁场应该较靶边缘和中心要弱，那为什么还会溅射更严重呢
磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下



发自小木虫IOS客户端
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2015-12-22 21:50:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
xhs1814: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-12-24 20:54:32
引用回帖:
7楼: Originally posted by xhs1814 at 2015-12-23 13:24:37
平行磁场？那为什么沟道上方最强？
...

磁铁总的磁感应强度由平行与于靶面的平行磁场分量和垂直于靶面的垂直磁场分量组成。磁控溅射主要用的是平行磁场，越靠近磁铁的地方总的磁感应强度变强，但是平行分量反而减少了。

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

xhs1814
8楼2015-12-23 16:03:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

百度百科有 或者找本书看看 都有讲的

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2015-12-17 21:34:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xhs1814

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-12-17 21:34:42
百度百科有 或者找本书看看 都有讲的

没看见有讲溅射沟道形成原因的

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
3楼2015-12-18 10:05:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by xhs1814 at 2015-12-18 10:05:46
没看见有讲溅射沟道形成原因的
...

一句话来概括，是因为磁控溅射时磁场对二次电子的约束作用，导致磁场跑道内工作气体如氩的离化率很高，进而导致跑道内溅射率高。形成溅射沟道。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2015-12-18 12:06:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by xhs1814 at 2015-12-22 21:50:50
我不知道画的对不对，整个靶的上方都有磁场，都可以约束氩原子，里面的圈会形成沟道，正常讲沟道上方的磁场应该较靶边缘和中心要弱，那为什么还会溅射更严重呢

...

楼主画的很对 只不过此处的磁场指的是平行与靶面的平行磁场，沟道上方平行磁场最强。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
6楼2015-12-23 05:47:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xhs1814

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by Friend007 at 2015-12-23 05:47:49
楼主画的很对 只不过此处的磁场指的是平行与靶面的平行磁场，沟道上方平行磁场最强。
...

平行磁场？那为什么沟道上方最强？

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
7楼2015-12-23 13:24:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xhs1814

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
8楼: Originally posted by Friend007 at 2015-12-23 16:03:28
磁铁总的磁感应强度由平行与于靶面的平行磁场分量和垂直于靶面的垂直磁场分量组成。磁控溅射主要用的是平行磁场，越靠近磁铁的地方总的磁感应强度变强，但是平行分量反而减少了。
...

哦有道理，多谢你的耐心，嘿嘿

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
9楼2015-12-23 16:30:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

会切方向的磁力线没能覆盖半个靶材，况且溅射气体离子都会沿着磁力线不会均匀分布，所以肯定会形成沟道！
赞一下 回复此楼
趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
10楼2015-12-23 21:19:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 xhs1814 的主题更新
111/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 估计是周四 +3 archvillain 2026-08-18 3/150 2026-08-21 01:48 by jnhyjjm
[基金申请] 言之凿凿，明天官网会通知放榜？ +15 医学老男孩 2026-08-20 17/850 2026-08-20 20:35 by CaoLG
[基金申请] 今天系统多次维护，明天很可能放榜！ +10 zju2000 2026-08-16 11/550 2026-08-20 20:02 by cl479861084
[基金申请] 时间戳变了，能看出什么问题？ +18 基诺咪客 2026-08-17 23/1150 2026-08-20 17:19 by Godzela
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +21 yaoyewhu2008 2026-08-20 22/1100 2026-08-20 17:03 by yaoyewhu2008
[基金申请] 放榜前的不淡定 40+3 snowwithsea 2026-08-19 12/600 2026-08-20 15:56 by lfy8008
[基金申请] 重要消息，中午系统在维护 +11 yuleib84 2026-08-18 12/600 2026-08-20 11:09 by xskun
[基金申请] 今天基金会出结果吗？20260819 +14 kkkl_v 2026-08-19 15/750 2026-08-20 08:21 by sunzitan
[教师之家] 为什么余额宝的年化利率越来越低？主要原因有哪些？ +5 瞬息宇宙 2026-08-15 5/250 2026-08-19 20:23 by super2002521
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +4 yuleib84 2026-08-19 5/250 2026-08-19 19:52 by hhs666
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +10 wangze12014 2026-08-14 12/600 2026-08-19 16:56 by 苦难博士
[基金申请] 2027广东省杰青 +4 奶牛小黑 2026-08-15 10/500 2026-08-19 11:02 by wanfengnew
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 什么时候开奖？ +6 CrisMessi 2026-08-18 6/300 2026-08-19 08:06 by Equinoxhua
[基金申请] 明天放榜？ +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[论文投稿] 投稿咨询 +4 wwm09 2026-08-17 6/300 2026-08-18 15:36 by wwm09
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +14 archvillain 2026-08-15 26/1300 2026-08-18 13:37 by phantomgost
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
[基金申请] 感觉是下周放榜了 +6 angus9576 2026-08-17 11/550 2026-08-17 23:57 by angus9576
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭