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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下
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xhs1814

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下 已有2人参与

磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下
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1楼 2015-12-14 18:59:36
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

xhs1814

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Friend007 at 2015-12-18 12:06:54
一句话来概括，是因为磁控溅射时磁场对二次电子的约束作用，导致磁场跑道内工作气体如氩的离化率很高，进而导致跑道内溅射率高。形成溅射沟道。
...

我不知道画的对不对，整个靶的上方都有磁场，都可以约束氩原子，里面的圈会形成沟道，正常讲沟道上方的磁场应该较靶边缘和中心要弱，那为什么还会溅射更严重呢
磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下



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5楼2015-12-22 21:50:50
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
xhs1814: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-12-24 20:54:32
引用回帖:
7楼: Originally posted by xhs1814 at 2015-12-23 13:24:37
平行磁场？那为什么沟道上方最强？
...

磁铁总的磁感应强度由平行与于靶面的平行磁场分量和垂直于靶面的垂直磁场分量组成。磁控溅射主要用的是平行磁场，越靠近磁铁的地方总的磁感应强度变强，但是平行分量反而减少了。

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xhs1814
8楼2015-12-23 16:03:28
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普通回帖

Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

百度百科有 或者找本书看看 都有讲的

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2楼2015-12-17 21:34:42
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xhs1814

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-12-17 21:34:42
百度百科有 或者找本书看看 都有讲的

没看见有讲溅射沟道形成原因的

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3楼2015-12-18 10:05:46
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by xhs1814 at 2015-12-18 10:05:46
没看见有讲溅射沟道形成原因的
...

一句话来概括，是因为磁控溅射时磁场对二次电子的约束作用，导致磁场跑道内工作气体如氩的离化率很高，进而导致跑道内溅射率高。形成溅射沟道。

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4楼2015-12-18 12:06:54
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by xhs1814 at 2015-12-22 21:50:50
我不知道画的对不对，整个靶的上方都有磁场，都可以约束氩原子，里面的圈会形成沟道，正常讲沟道上方的磁场应该较靶边缘和中心要弱，那为什么还会溅射更严重呢

...

楼主画的很对 只不过此处的磁场指的是平行与靶面的平行磁场，沟道上方平行磁场最强。

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6楼2015-12-23 05:47:49
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xhs1814

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by Friend007 at 2015-12-23 05:47:49
楼主画的很对 只不过此处的磁场指的是平行与靶面的平行磁场，沟道上方平行磁场最强。
...

平行磁场？那为什么沟道上方最强？

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7楼2015-12-23 13:24:37
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xhs1814

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
8楼: Originally posted by Friend007 at 2015-12-23 16:03:28
磁铁总的磁感应强度由平行与于靶面的平行磁场分量和垂直于靶面的垂直磁场分量组成。磁控溅射主要用的是平行磁场，越靠近磁铁的地方总的磁感应强度变强，但是平行分量反而减少了。
...

哦有道理，多谢你的耐心，嘿嘿

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9楼2015-12-23 16:30:19
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

会切方向的磁力线没能覆盖半个靶材，况且溅射气体离子都会沿着磁力线不会均匀分布，所以肯定会形成沟道！
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趁年轻，多折腾！曾年轻，折腾过？！
10楼2015-12-23 21:19:46
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