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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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xhs1814

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道,哪位能帮忙解释下 已有2人参与

磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道,哪位能帮忙解释下
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leongoall

专家顾问 (知名作家)

P-M-I之初生牛犊

【答案】应助回帖

会切方向的磁力线没能覆盖半个靶材,况且溅射气体离子都会沿着磁力线不会均匀分布,所以肯定会形成沟道!
趁年轻,多折腾!曾年轻,折腾过?!
10楼2015-12-23 21:19:46
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Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

百度百科有 或者找本书看看 都有讲的

发自小木虫Android客户端
2楼2015-12-17 21:34:42
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xhs1814

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-12-17 21:34:42
百度百科有 或者找本书看看 都有讲的

没看见有讲溅射沟道形成原因的

发自小木虫IOS客户端
3楼2015-12-18 10:05:46
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Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by xhs1814 at 2015-12-18 10:05:46
没看见有讲溅射沟道形成原因的
...

一句话来概括,是因为磁控溅射时磁场对二次电子的约束作用,导致磁场跑道内工作气体如氩的离化率很高,进而导致跑道内溅射率高。形成溅射沟道。

发自小木虫Android客户端
4楼2015-12-18 12:06:54
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