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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下
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xhs1814

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下 已有2人参与

磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下
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1楼 2015-12-14 18:59:36
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xhs1814

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-12-17 21:34:42
百度百科有 或者找本书看看 都有讲的

没看见有讲溅射沟道形成原因的

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3楼2015-12-18 10:05:46
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

百度百科有 或者找本书看看 都有讲的

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2楼2015-12-17 21:34:42
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by xhs1814 at 2015-12-18 10:05:46
没看见有讲溅射沟道形成原因的
...

一句话来概括，是因为磁控溅射时磁场对二次电子的约束作用，导致磁场跑道内工作气体如氩的离化率很高，进而导致跑道内溅射率高。形成溅射沟道。

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4楼2015-12-18 12:06:54
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xhs1814

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Friend007 at 2015-12-18 12:06:54
一句话来概括，是因为磁控溅射时磁场对二次电子的约束作用，导致磁场跑道内工作气体如氩的离化率很高，进而导致跑道内溅射率高。形成溅射沟道。
...

我不知道画的对不对，整个靶的上方都有磁场，都可以约束氩原子，里面的圈会形成沟道，正常讲沟道上方的磁场应该较靶边缘和中心要弱，那为什么还会溅射更严重呢
磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下



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5楼2015-12-22 21:50:50
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