应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
51/1返回列表
查看: 1601  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

xhs1814

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下 已有2人参与

磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2015-12-14 18:59:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xhs1814

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-12-17 21:34:42
百度百科有 或者找本书看看 都有讲的

没看见有讲溅射沟道形成原因的

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
3楼2015-12-18 10:05:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

百度百科有 或者找本书看看 都有讲的

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2015-12-17 21:34:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by xhs1814 at 2015-12-18 10:05:46
没看见有讲溅射沟道形成原因的
...

一句话来概括，是因为磁控溅射时磁场对二次电子的约束作用，导致磁场跑道内工作气体如氩的离化率很高，进而导致跑道内溅射率高。形成溅射沟道。

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2015-12-18 12:06:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xhs1814

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Friend007 at 2015-12-18 12:06:54
一句话来概括，是因为磁控溅射时磁场对二次电子的约束作用，导致磁场跑道内工作气体如氩的离化率很高，进而导致跑道内溅射率高。形成溅射沟道。
...

我不知道画的对不对，整个靶的上方都有磁场，都可以约束氩原子，里面的圈会形成沟道，正常讲沟道上方的磁场应该较靶边缘和中心要弱，那为什么还会溅射更严重呢
磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下



发自小木虫IOS客户端
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2015-12-22 21:50:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 322求调剂 +3 宋明欣 2026-03-27 3/150 2026-03-27 19:18 by 无际的草原
[考研] 265求调剂 +5 小木虫085600 2026-03-27 5/250 2026-03-27 17:34 by 红玉佳人
[考研] 0703化学 +6 妮妮ninicgb 2026-03-27 6/300 2026-03-27 17:18 by shangxh
[考研] 复试调剂，一志愿南农083200食品科学与工程 +5 XQTJZ 2026-03-26 5/250 2026-03-27 14:49 by 狂炫麦当当
[考研] 08开头275求调剂 +4 拉谁不重要 2026-03-26 4/200 2026-03-27 14:12 by Delta2012
[考研] 349求调剂 +5 杰斯塔里斯 2026-03-21 5/250 2026-03-27 00:31 by wxiongid
[考研] 342求调剂 +3 加油a李zs 2026-03-26 3/150 2026-03-27 00:29 by wxiongid
[考研] 340求调剂 +3 Amber00 2026-03-26 3/150 2026-03-26 18:57 by 不吃魚的貓
[考研] 材料与化工304求B区调剂 +3 邱gl 2026-03-26 6/300 2026-03-26 18:03 by 邱gl
[考研] 资源与环境 调剂申请(333分) +9 holy J 2026-03-21 9/450 2026-03-26 15:47 by 161765490
[考研] 081700 调剂 267分 +11 迷人的哈哈 2026-03-23 11/550 2026-03-26 15:41 by zzll406
[考研] 315分求调剂 +5 26考研上岸版26 2026-03-26 5/250 2026-03-26 12:11 by laoshidan
[考研] 085600 材料与化工 329分求调剂 +9 Mr. Z 2026-03-25 9/450 2026-03-26 10:36 by baoball
[考研] 打过很多竞赛，085406控制工程300分，求调剂 +3 askeladz 2026-03-26 3/150 2026-03-26 09:08 by 给你你注意休息
[考研] 一志愿吉大化学322求调剂 +4 17501029541 2026-03-23 6/300 2026-03-24 10:21 by 戴围脖的小蚊子
[考研] 环境学硕288求调剂 +8 皮皮皮123456 2026-03-22 8/400 2026-03-23 23:47 by 热情沙漠
[考研] 生物学一志愿985，分数349求调剂 +6 zxts12 2026-03-21 9/450 2026-03-23 18:37 by macy2011
[考研] 一志愿北京化工大学070300 学硕336求调剂 +5 vv迷 2026-03-21 8/400 2026-03-22 14:20 by ColorlessPI
[考研] 一志愿东华大学控制学硕320求调剂 +3 Grand777 2026-03-21 3/150 2026-03-21 19:23 by 简之-
[考研] 266求调剂 +3 哇呼哼呼哼 2026-03-20 3/150 2026-03-21 16:46 by barlinike
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭