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磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道,哪位能帮忙解释下 已有2人参与
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| 磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道,哪位能帮忙解释下 |
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【答案】应助回帖
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xhs1814: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-12-24 20:54:32
xhs1814: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-12-24 20:54:32
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磁铁总的磁感应强度由平行与于靶面的平行磁场分量和垂直于靶面的垂直磁场分量组成。磁控溅射主要用的是平行磁场,越靠近磁铁的地方总的磁感应强度变强,但是平行分量反而减少了。 发自小木虫Android客户端 |
8楼2015-12-23 16:03:28
2楼2015-12-17 21:34:42
3楼2015-12-18 10:05:46
4楼2015-12-18 12:06:54













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