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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下
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xhs1814

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下 已有2人参与

磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下
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1楼 2015-12-14 18:59:36
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
xhs1814: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-12-24 20:54:32
引用回帖:
7楼: Originally posted by xhs1814 at 2015-12-23 13:24:37
平行磁场？那为什么沟道上方最强？
...

磁铁总的磁感应强度由平行与于靶面的平行磁场分量和垂直于靶面的垂直磁场分量组成。磁控溅射主要用的是平行磁场，越靠近磁铁的地方总的磁感应强度变强，但是平行分量反而减少了。

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xhs1814
8楼2015-12-23 16:03:28
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

百度百科有 或者找本书看看 都有讲的

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2楼2015-12-17 21:34:42
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xhs1814

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-12-17 21:34:42
百度百科有 或者找本书看看 都有讲的

没看见有讲溅射沟道形成原因的

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3楼2015-12-18 10:05:46
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Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by xhs1814 at 2015-12-18 10:05:46
没看见有讲溅射沟道形成原因的
...

一句话来概括，是因为磁控溅射时磁场对二次电子的约束作用，导致磁场跑道内工作气体如氩的离化率很高，进而导致跑道内溅射率高。形成溅射沟道。

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4楼2015-12-18 12:06:54
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