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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 磁控溅射平面靶材为什么会形成溅射沟道，哪位能帮忙解释下
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xhs1814

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
10楼: Originally posted by leongoall at 2015-12-23 21:19:46
会切方向的磁力线没能覆盖半个靶材，况且溅射气体离子都会沿着磁力线不会均匀分布，所以肯定会形成沟道！

嗯嗯，谢谢，大概清楚了

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11楼2015-12-23 23:30:11
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