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请问靶材成分怎么测试？已有4人参与
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| 我购买的Mn0.5Zn0.5Fe2O4靶材，三英寸，厚3MM，由于磁控溅射出的薄膜用EDS测试成分偏差很大，不知是否是靶材的问题，我想请教各位大神，如何测试该靶材的成分？如何较精确的知道靶材中各个元素的摩尔比？另外可以测它的晶体结构吗（它是块体的，不能弄成粉末）？ |
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2楼2015-11-16 12:07:30
guxue
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peterflyer 
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7楼2015-11-17 18:28:32
guxue
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8楼2015-11-17 18:35:49
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dyho2010: 金币+2, ★★★很有帮助 2015-11-20 12:25:00
dyho2010: 金币+2, ★★★很有帮助 2015-11-20 12:25:00
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按你的样品尺寸只能使用XRF或者直读光谱来测试了，这两种都是所谓的无损分析，但实际上在几千瓦的X射线的照射下，一般的样品或多或少都会发生微观的变化，键的结合，原子的形态都会变化，对有些材料还有颜色的变化，所谓的无损在我看来也只是宏观上的无损罢了 发自小木虫IOS客户端 |
9楼2015-11-17 20:33:28
dolphin88323
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