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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 请问靶材成分怎么测试？
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dyho2010

新虫 (初入文坛)

[求助] 请问靶材成分怎么测试？ 已有4人参与

我购买的Mn0.5Zn0.5Fe2O4靶材，三英寸，厚3MM，由于磁控溅射出的薄膜用EDS测试成分偏差很大，不知是否是靶材的问题，我想请教各位大神，如何测试该靶材的成分？如何较精确的知道靶材中各个元素的摩尔比？另外可以测它的晶体结构吗（它是块体的，不能弄成粉末）？
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1楼 2015-11-16 11:45:43
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dyho2010

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by guxue at 2015-11-16 14:41:59
靶材的成分可以用滴定法测定。

请问具体怎么做？
能做到无损样品吗？
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4楼2015-11-17 17:16:07
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凶残的大灰兔

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
EDS本身就是一个定性分析，就是测不准确的，要测靶材的话，方法也很多，XRF,ICP,直读都有可能，还是具体看样品和含量范围吧
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2楼2015-11-16 12:07:30
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guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
靶材的成分可以用滴定法测定。
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青出于蓝而胜于蓝
3楼2015-11-16 14:41:59
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凶残的大灰兔

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

滴定是不可能无损的，滴定要把样品溶解测试，溶解成液体才行的，无损的话只能直读光谱或者xrf，也就仪器有可能，湿法分析是不可能的

发自小木虫IOS客户端
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5楼2015-11-17 17:19:18
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