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请问靶材成分怎么测试? 已有4人参与
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| 我购买的Mn0.5Zn0.5Fe2O4靶材,三英寸,厚3MM,由于磁控溅射出的薄膜用EDS测试成分偏差很大,不知是否是靶材的问题,我想请教各位大神,如何测试该靶材的成分?如何较精确的知道靶材中各个元素的摩尔比?另外可以测它的晶体结构吗(它是块体的,不能弄成粉末)? |
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4楼2015-11-17 17:16:07
2楼2015-11-16 12:07:30
guxue
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