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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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dyho2010

新虫 (初入文坛)

[求助] 请问靶材成分怎么测试? 已有4人参与

我购买的Mn0.5Zn0.5Fe2O4靶材,三英寸,厚3MM,由于磁控溅射出的薄膜用EDS测试成分偏差很大,不知是否是靶材的问题,我想请教各位大神,如何测试该靶材的成分?如何较精确的知道靶材中各个元素的摩尔比?另外可以测它的晶体结构吗(它是块体的,不能弄成粉末)?
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dyho2010

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by guxue at 2015-11-16 14:41:59
靶材的成分可以用滴定法测定。

请问具体怎么做?
能做到无损样品吗?
4楼2015-11-17 17:16:07
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凶残的大灰兔

新虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
EDS本身就是一个定性分析,就是测不准确的,要测靶材的话,方法也很多,XRF,ICP,直读都有可能,还是具体看样品和含量范围吧
2楼2015-11-16 12:07:30
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guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
靶材的成分可以用滴定法测定。
青出于蓝而胜于蓝
3楼2015-11-16 14:41:59
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凶残的大灰兔

新虫 (小有名气)


【答案】应助回帖

滴定是不可能无损的,滴定要把样品溶解测试,溶解成液体才行的,无损的话只能直读光谱或者xrf,也就仪器有可能,湿法分析是不可能的

发自小木虫IOS客户端
5楼2015-11-17 17:19:18
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