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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 请问靶材成分怎么测试？
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dyho2010

新虫 (初入文坛)

[求助] 请问靶材成分怎么测试？ 已有4人参与

我购买的Mn0.5Zn0.5Fe2O4靶材，三英寸，厚3MM，由于磁控溅射出的薄膜用EDS测试成分偏差很大，不知是否是靶材的问题，我想请教各位大神，如何测试该靶材的成分？如何较精确的知道靶材中各个元素的摩尔比？另外可以测它的晶体结构吗（它是块体的，不能弄成粉末）？
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1楼 2015-11-16 11:45:43
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凶残的大灰兔

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
EDS本身就是一个定性分析，就是测不准确的，要测靶材的话，方法也很多，XRF,ICP,直读都有可能，还是具体看样品和含量范围吧
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2楼2015-11-16 12:07:30
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guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
靶材的成分可以用滴定法测定。
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青出于蓝而胜于蓝
3楼2015-11-16 14:41:59
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dyho2010

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by guxue at 2015-11-16 14:41:59
靶材的成分可以用滴定法测定。

请问具体怎么做？
能做到无损样品吗？
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4楼2015-11-17 17:16:07
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凶残的大灰兔

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

滴定是不可能无损的，滴定要把样品溶解测试，溶解成液体才行的，无损的话只能直读光谱或者xrf，也就仪器有可能，湿法分析是不可能的

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5楼2015-11-17 17:19:18
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dyho2010

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 凶残的大灰兔 at 2015-11-17 17:19:18
滴定是不可能无损的，滴定要把样品溶解测试，溶解成液体才行的，无损的话只能直读光谱或者xrf，也就仪器有可能，湿法分析是不可能的

谢谢你的回复，我做了EDS，但是测得的数据和设计的差的很多，且测的区域不同数据也差别很大。

不知道XRF是不是能较准确的定量。

ICP-OES好像也要溶液吧。

我希望的是在不损害靶材（陶瓷靶材）的情况测得靶材的成分以及成分的均匀稳定性，不知道什么方法最合适？望指教。
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6楼2015-11-17 17:36:09
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以使用XRF或者ICP-AES测量锰、锌、铁的元素百分比含量，然后再各自折算成氧化物，得到各氧化物所占的百分比含量。
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7楼2015-11-17 18:28:32
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guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步
引用回帖:
4楼: Originally posted by dyho2010 at 2015-11-17 17:16:07
请问具体怎么做？
能做到无损样品吗？...

无损检测的话，建议用光谱检测。
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青出于蓝而胜于蓝
8楼2015-11-17 18:35:49
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凶残的大灰兔

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
dyho2010: 金币+2, ★★★很有帮助 2015-11-20 12:25:00
引用回帖:
6楼: Originally posted by dyho2010 at 2015-11-17 17:36:09
谢谢你的回复，我做了EDS，但是测得的数据和设计的差的很多，且测的区域不同数据也差别很大。

不知道XRF是不是能较准确的定量。

ICP-OES好像也要溶液吧。

我希望的是在不损害靶材（陶瓷靶材）的情况测得靶 ...

按你的样品尺寸只能使用XRF或者直读光谱来测试了，这两种都是所谓的无损分析，但实际上在几千瓦的X射线的照射下，一般的样品或多或少都会发生微观的变化，键的结合，原子的形态都会变化，对有些材料还有颜色的变化，所谓的无损在我看来也只是宏观上的无损罢了

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9楼2015-11-17 20:33:28
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dolphin88323

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
dyho2010: 金币+2, ★★★很有帮助 2015-11-24 17:16:09
ICP-AES这个可以比EDS更加精确测量各个元素比   但是这个也是得把粉体溶解在溶液中测量   另外一个就是也不是很准  做一些光谱分析  比如拉曼分析各个价键的峰面积大概推算价键代表元素的比    晶体结构可以做XRD精修测吧
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海纳百川 有容乃大 壁立千仞 无欲则刚
10楼2015-11-19 10:53:30
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