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dyho2010

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
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虫号: 3167053
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专业: 无机非金属类光电信息与功

[求助] 请问靶材成分怎么测试？已有4人参与

我购买的Mn0.5Zn0.5Fe2O4靶材，三英寸，厚3MM，由于磁控溅射出的薄膜用EDS测试成分偏差很大，不知是否是靶材的问题，我想请教各位大神，如何测试该靶材的成分？如何较精确的知道靶材中各个元素的摩尔比？另外可以测它的晶体结构吗（它是块体的，不能弄成粉末）？

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Applied Surface Science 这个期刊。有哪位虫友投过的能把word模板发给我参考一下嘛已经有3人回复

1楼2015-11-16 11:45:43

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

凶残的大灰兔

新虫 (小有名气)

应助: 12 (小学生)
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虫号: 4218821
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专业: 金属基复合材料

【答案】应助回帖

★ ★
dyho2010: 金币+2, ★★★很有帮助 2015-11-20 12:25:00

引用回帖:

6楼: Originally posted by dyho2010 at 2015-11-17 17:36:09
谢谢你的回复，我做了EDS，但是测得的数据和设计的差的很多，且测的区域不同数据也差别很大。

不知道XRF是不是能较准确的定量。

ICP-OES好像也要溶液吧。

我希望的是在不损害靶材（陶瓷靶材）的情况测得靶 ...

按你的样品尺寸只能使用XRF或者直读光谱来测试了，这两种都是所谓的无损分析，但实际上在几千瓦的X射线的照射下，一般的样品或多或少都会发生微观的变化，键的结合，原子的形态都会变化，对有些材料还有颜色的变化，所谓的无损在我看来也只是宏观上的无损罢了

发自小木虫IOS客户端