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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 请问靶材成分怎么测试？
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dyho2010

新虫 (初入文坛)

[求助] 请问靶材成分怎么测试？ 已有4人参与

我购买的Mn0.5Zn0.5Fe2O4靶材，三英寸，厚3MM，由于磁控溅射出的薄膜用EDS测试成分偏差很大，不知是否是靶材的问题，我想请教各位大神，如何测试该靶材的成分？如何较精确的知道靶材中各个元素的摩尔比？另外可以测它的晶体结构吗（它是块体的，不能弄成粉末）？
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1楼 2015-11-16 11:45:43
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凶残的大灰兔

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
dyho2010: 金币+2, ★★★很有帮助 2015-11-20 12:25:00
引用回帖:
6楼: Originally posted by dyho2010 at 2015-11-17 17:36:09
谢谢你的回复，我做了EDS，但是测得的数据和设计的差的很多，且测的区域不同数据也差别很大。

不知道XRF是不是能较准确的定量。

ICP-OES好像也要溶液吧。

我希望的是在不损害靶材（陶瓷靶材）的情况测得靶 ...

按你的样品尺寸只能使用XRF或者直读光谱来测试了，这两种都是所谓的无损分析，但实际上在几千瓦的X射线的照射下，一般的样品或多或少都会发生微观的变化，键的结合，原子的形态都会变化，对有些材料还有颜色的变化，所谓的无损在我看来也只是宏观上的无损罢了

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9楼2015-11-17 20:33:28
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凶残的大灰兔

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
EDS本身就是一个定性分析，就是测不准确的，要测靶材的话，方法也很多，XRF,ICP,直读都有可能，还是具体看样品和含量范围吧
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2楼2015-11-16 12:07:30
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guxue

专家顾问 (知名作家)

学习使人进步

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
靶材的成分可以用滴定法测定。
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青出于蓝而胜于蓝
3楼2015-11-16 14:41:59
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dyho2010

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by guxue at 2015-11-16 14:41:59
靶材的成分可以用滴定法测定。

请问具体怎么做？
能做到无损样品吗？
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4楼2015-11-17 17:16:07
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