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请问靶材成分怎么测试？已有4人参与
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| 我购买的Mn0.5Zn0.5Fe2O4靶材，三英寸，厚3MM，由于磁控溅射出的薄膜用EDS测试成分偏差很大，不知是否是靶材的问题，我想请教各位大神，如何测试该靶材的成分？如何较精确的知道靶材中各个元素的摩尔比？另外可以测它的晶体结构吗（它是块体的，不能弄成粉末）？ |
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peterflyer 
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
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7楼2015-11-17 18:28:32
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guxue
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