【答案】应助回帖

31楼2015-11-14 14:59:19

longwave

祝福

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32楼2015-11-14 15:12:09

柯南@新一

铁杆木虫 (著名写手)

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【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1

你有镀过渡层吗？可以在开始镀的时候用高偏压预溅射几分钟，或者是镀下Ta的过渡层，可能是膜与基底的结合力不好，但是Ta和Si的结合很好的啊，我做的没有出现过

33楼2015-11-14 15:21:06

李少杰

金虫 (著名写手)

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加油！

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34楼2015-11-14 15:32:51

laozhu557

35楼2015-11-15 00:09:03

muxiao-chong

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应力太大

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热热热

36楼2015-11-15 08:07:09

wanjin1314

嗯

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37楼2015-11-15 08:07:51

买菜的贝多芬

禁虫 (著名写手)

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38楼2015-11-15 08:56:14

Gavin6152

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引用回帖:

33楼: Originally posted by 柯南@新一 at 2015-11-14 15:21:06
你有镀过渡层吗？可以在开始镀的时候用高偏压预溅射几分钟，或者是镀下Ta的过渡层，可能是膜与基底的结合力不好，但是Ta和Si的结合很好的啊，我做的没有出现过

没有，不过接下来打算镀过度层

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39楼2015-11-15 15:22:20

ddx4142

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【答案】应助回帖

结合力太差了！但是影响因素比较多，厚度太厚也是一个方面，还得考虑沉积参数等条件！

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40楼2015-11-15 15:39:51