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Jacabobe

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
衬底不匹配,膨胀系数不一致?

发自小木虫Android客户端
31楼2015-11-14 14:59:19
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32楼2015-11-14 15:12:09
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柯南@新一

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你有镀过渡层吗?可以在开始镀的时候用高偏压预溅射几分钟,或者是镀下Ta的过渡层,可能是膜与基底的结合力不好,但是Ta和Si的结合很好的啊,我做的没有出现过
33楼2015-11-14 15:21:06
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李少杰

金虫 (著名写手)

34楼2015-11-14 15:32:51
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35楼2015-11-15 00:09:03
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muxiao-chong

木虫 (正式写手)

炉火纯青

热热热
36楼2015-11-15 08:07:09
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37楼2015-11-15 08:07:51
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买菜的贝多芬

禁虫 (著名写手)

本帖内容被屏蔽

38楼2015-11-15 08:56:14
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Gavin6152

金虫 (小有名气)

引用回帖:
33楼: Originally posted by 柯南@新一 at 2015-11-14 15:21:06
你有镀过渡层吗?可以在开始镀的时候用高偏压预溅射几分钟,或者是镀下Ta的过渡层,可能是膜与基底的结合力不好,但是Ta和Si的结合很好的啊,我做的没有出现过

没有,不过接下来打算镀过度层

发自小木虫Android客户端
39楼2015-11-15 15:22:20
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ddx4142

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

结合力太差了!但是影响因素比较多,厚度太厚也是一个方面,还得考虑沉积参数等条件!

发自小木虫Android客户端
40楼2015-11-15 15:39:51
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