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Gavin6152

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控共溅射Cu-Ta薄膜,制得的薄膜大片剥落,求解 已有15人参与

si衬底室温磁控共溅射Cu-Ta薄膜,功率为200W/100W,沉积40min,制得的薄膜大片剥落,有人了解是怎么回事吗?难道是膜太厚?Cu/Ta功率为50W/250W时没出现剥落现象

磁控共溅射Cu-Ta薄膜,制得的薄膜大片剥落,求解
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柯南@新一

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你有镀过渡层吗?可以在开始镀的时候用高偏压预溅射几分钟,或者是镀下Ta的过渡层,可能是膜与基底的结合力不好,但是Ta和Si的结合很好的啊,我做的没有出现过
33楼2015-11-14 15:21:06
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查看全部 53 个回答

Gavin6152(金币+1): 谢谢参与
2楼2015-11-11 22:16:59
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xhj543240343

金虫 (著名写手)


Gavin6152(金币+1): 谢谢参与
努力学习,不要落后
3楼2015-11-11 22:24:30
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Gavin6152(金币+1): 谢谢参与
4楼2015-11-11 22:28:13
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