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Gavin6152金虫 (小有名气)
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磁控共溅射Cu-Ta薄膜,制得的薄膜大片剥落,求解 已有15人参与
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si衬底室温磁控共溅射Cu-Ta薄膜,功率为200W/100W,沉积40min,制得的薄膜大片剥落,有人了解是怎么回事吗?难道是膜太厚?Cu/Ta功率为50W/250W时没出现剥落现象 279474988333634564.jpg |
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2楼2015-11-11 22:16:59
xhj543240343
金虫 (著名写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
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- 注册: 2009-11-03
- 专业: 冶金物理化学与冶金原理

3楼2015-11-11 22:24:30
4楼2015-11-11 22:28:13
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Gavin6152(金币+1): 谢谢参与
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5楼2015-11-11 22:28:30
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Gavin6152(金币+1): 谢谢参与
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| 哦 ! |
6楼2015-11-11 22:28:41
7楼2015-11-11 22:31:00
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Gavin6152(金币+1): 谢谢参与
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8楼2015-11-11 22:31:13
9楼2015-11-11 22:32:56
10楼2015-11-11 22:32:57













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