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Gavin6152金虫 (小有名气)
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[求助]
磁控共溅射Cu-Ta薄膜,制得的薄膜大片剥落,求解 已有15人参与
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si衬底室温磁控共溅射Cu-Ta薄膜，功率为200W/100W，沉积40min，制得的薄膜大片剥落，有人了解是怎么回事吗？难道是膜太厚？Cu/Ta功率为50W/250W时没出现剥落现象 279474988333634564.jpg |
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9楼2015-11-11 22:32:56
2楼2015-11-11 22:16:59
xhj543240343
金虫 (著名写手)
- 应助: 1 (幼儿园)
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- 散金: 938
- 红花: 1
- 帖子: 1990
- 在线: 16.7小时
- 虫号: 892515
- 注册: 2009-11-03
- 专业: 冶金物理化学与冶金原理
3楼2015-11-11 22:24:30
4楼2015-11-11 22:28:13