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zszguangdian

银虫 (小有名气)

41楼2015-11-15 16:33:56
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FLYFWY

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

膜脱不脱和很多因素有关:
1.膜基结合力,材料不同,结合力自然就不同。可以尝试烘烤基片。
2.膜的厚度,你不脱的那个工艺镀下来的膜厚有没有脱的那个厚?
3.基片没洗干净。

发自小木虫IOS客户端
42楼2015-11-15 16:47:49
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Jey321

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

应力太大,需要接着调参数

发自小木虫Android客户端
43楼2015-11-15 17:04:01
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BMaxFeynman

金虫 (小有名气)

金虫

薄膜应力过高,导致膜基结合力差!

发自小木虫Android客户端
44楼2015-11-15 17:10:58
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fei上善若水

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

有可能是薄膜应力太大的缘故;再者有可能是薄膜与基底的结合力比较差,可以试着打一个Ti过渡层
上善若水,达济天下。
45楼2015-11-15 17:31:56
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46楼2015-11-15 17:32:43
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

个人认为,极有可能是Cu膜的热涨冷缩造成的热应力导致的剥落。铜靶的溅射功率加大了一倍,膜中的铜的比例会显著增加,钽的溅射功率下降很多,其在膜中的比例会显著减小,由此可能导致薄膜的热膨胀系数与基板存在了较大的差异,由此引起极大的热应力造成膜的剥落。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
47楼2015-11-15 18:38:30
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babysshz

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

表面处理的不妥当
48楼2015-11-16 12:31:00
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kylinix

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

是否加一层buffer layer?
我只知道在MgO上溅射沉积Au薄膜时,如果有Cr作为缓冲层会使Au结合的更牢。
49楼2015-11-16 12:59:58
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那一抹幸福

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

薄膜内应力太大,与基底结合力不好,建议镀上几百纳米的过渡层试试

发自小木虫Android客户端
50楼2015-11-16 23:33:36
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