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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控共溅射Cu-Ta薄膜,制得的薄膜大片剥落,求解
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zszguangdian

银虫 (小有名气)
应力没有释放掉吧 maybe

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41楼2015-11-15 16:33:56
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FLYFWY

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

膜脱不脱和很多因素有关：
1.膜基结合力，材料不同，结合力自然就不同。可以尝试烘烤基片。
2.膜的厚度，你不脱的那个工艺镀下来的膜厚有没有脱的那个厚？
3.基片没洗干净。

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42楼2015-11-15 16:47:49
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Jey321

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

应力太大，需要接着调参数

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43楼2015-11-15 17:04:01
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BMaxFeynman

金虫 (小有名气)

金虫
薄膜应力过高，导致膜基结合力差！

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44楼2015-11-15 17:10:58
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fei上善若水

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

有可能是薄膜应力太大的缘故；再者有可能是薄膜与基底的结合力比较差，可以试着打一个Ti过渡层
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上善若水，达济天下。
45楼2015-11-15 17:31:56
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yanyuxiaoxi
嗯

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46楼2015-11-15 17:32:43
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

个人认为，极有可能是Cu膜的热涨冷缩造成的热应力导致的剥落。铜靶的溅射功率加大了一倍，膜中的铜的比例会显著增加，钽的溅射功率下降很多，其在膜中的比例会显著减小，由此可能导致薄膜的热膨胀系数与基板存在了较大的差异，由此引起极大的热应力造成膜的剥落。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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47楼2015-11-15 18:38:30
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babysshz

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

表面处理的不妥当
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48楼2015-11-16 12:31:00
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kylinix

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

是否加一层buffer layer？
我只知道在MgO上溅射沉积Au薄膜时，如果有Cr作为缓冲层会使Au结合的更牢。
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49楼2015-11-16 12:59:58
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那一抹幸福

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

薄膜内应力太大，与基底结合力不好，建议镀上几百纳米的过渡层试试

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50楼2015-11-16 23:33:36
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