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Gavin6152金虫 (小有名气)
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[求助]
磁控共溅射Cu-Ta薄膜,制得的薄膜大片剥落,求解 已有15人参与
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si衬底室温磁控共溅射Cu-Ta薄膜，功率为200W/100W，沉积40min，制得的薄膜大片剥落，有人了解是怎么回事吗？难道是膜太厚？Cu/Ta功率为50W/250W时没出现剥落现象 279474988333634564.jpg |
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FLYFWY
木虫 (小有名气)
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- 注册: 2009-04-13
- 专业: 光学信息获取与处理
【答案】应助回帖
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膜脱不脱和很多因素有关： 1.膜基结合力，材料不同，结合力自然就不同。可以尝试烘烤基片。 2.膜的厚度，你不脱的那个工艺镀下来的膜厚有没有脱的那个厚？ 3.基片没洗干净。 发自小木虫IOS客户端 |
42楼2015-11-15 16:47:49
2楼2015-11-11 22:16:59
xhj543240343
金虫 (著名写手)
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- 专业: 冶金物理化学与冶金原理
3楼2015-11-11 22:24:30
4楼2015-11-11 22:28:13
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