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Gavin6152金虫 (小有名气)
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磁控共溅射Cu-Ta薄膜,制得的薄膜大片剥落,求解 已有15人参与
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si衬底室温磁控共溅射Cu-Ta薄膜，功率为200W/100W，沉积40min，制得的薄膜大片剥落，有人了解是怎么回事吗？难道是膜太厚？Cu/Ta功率为50W/250W时没出现剥落现象 279474988333634564.jpg |
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