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Gavin6152金虫 (小有名气)
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[求助]
磁控共溅射Cu-Ta薄膜,制得的薄膜大片剥落,求解 已有15人参与
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si衬底室温磁控共溅射Cu-Ta薄膜,功率为200W/100W,沉积40min,制得的薄膜大片剥落,有人了解是怎么回事吗?难道是膜太厚?Cu/Ta功率为50W/250W时没出现剥落现象 279474988333634564.jpg |
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muxiao-chong
木虫 (正式写手)
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36楼2015-11-15 08:07:09
2楼2015-11-11 22:16:59
xhj543240343
金虫 (著名写手)
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3楼2015-11-11 22:24:30
4楼2015-11-11 22:28:13














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