| 查看: 1208 | 回复: 17 | |||
[交流]
铁电薄膜材料刻蚀后，测SEM时的样品切割问题
|
|||
我本人实验用的基片尺寸为1*1（cm^2）,光刻的图形尺寸在一个样品上有（1000、500、300、100um的正方形小图形），刻蚀完后我得测SEM,看一下横截面台阶角度，但是有个很关键的问题是得把样品适量切开。当然，我如果切得图形正好是1000的，相对而言，用肉眼也能看到（用的金刚石的锥子切开，如图从此正方形中间切开），但不能保证切得非常平整。故寻求大家是否有好的建议，能确保样品的横截面相对来说平整些，在此先感谢给位回复！ |
回复此楼» 猜你喜欢
自荐读博
已经有3人回复
-
求助:我三月中下旬出站，青基依托单位怎么办？
已经有5人回复
-
论文终于录用啦！满足毕业条件了
已经有22人回复
-
不自信的我
已经有5人回复
-
磺酰氟产物，毕不了业了！
已经有4人回复
-
投稿Elsevier的杂志（返修），总是在选择OA和subscription界面被踢皮球
已经有8人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 铁电薄膜材料刻蚀后，可以从哪些研究
已经有0人回复
- 南京大学材料科学与工程系招聘专职科研人员
已经有537人回复
- 物理所（北京凝聚态物理国家实验室）2011年度科研、技术支撑岗位人才招聘启事
已经有5人回复
- 【其它】物理所（北京凝聚态物理国家实验室）2011年度科研、技术支撑岗位人才招聘启事
已经有2人回复
» 抢金币啦！回帖就可以得到:
-
16年了，来看看大家
+1/198
-
上海大学昝鹏教授、军事医学研究院伯晓晨研究员/倪铭副研究员 课题组招聘博士生
+1/83
-
中科院长春光机所 招收计算材料学博士/硕士研究生（含机器学习辅助材料设计方向）
+1/75
-
江苏科技大学能源材料化学课题组张俊豪教授招收博士研究生1-2名
+1/70
-
希望你在这里
+1/64
-
中国科学院深海所 招收2026秋入学博士生1名 申请-考核制
+1/43
-
坐标济南，山东农科院招 有机合成 or 药物化学 联培硕士研究生
+1/39
-
厦门大学航空航天学院智能制造课题组招2026年申请审核制博士生1-2名
+1/32
-
征女友 @长安
+1/24
-
福建师范大学柔性电子学院招收2026年博士（储能材料与柔性电子器件）
+2/24
-
SCI，计算机相关可以写
+1/23
-
南科大薛亚辉课题组诚聘离子输运、低维器件、原子力显微镜等方向“快响行动”博士生
+1/21
-
杨老师招收联合培养硕士、博士生或客座学生
+1/21
-
王志博教授课题组招收硕士研究生(本招收信息长期有效)
+2/16
-
博士/硕士招生
+1/10
-
【博士后/科研助理招聘-北京理工大学-集成电路与电子学院-国家杰青团队】
+1/4
-
废旧塑料热解油采购
+1/3
-
上海大学张进教授课题组诚招2026年秋季博士研究生
+1/2
-
求博导收留
+1/1
-
211 院校 化学工程与技术 双一流学科 学术型博士研究生 尚有名额
+1/1
12楼2015-10-27 19:31:09
13楼2015-11-03 15:59:00
14楼2015-11-04 11:01:34
15楼2015-12-23 09:41:48
16楼2016-02-14 16:21:42
17楼2016-02-21 18:08:40
18楼2019-04-26 14:23:02
简单回复
123木头羊2楼
2015-10-25 12:23
回复
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
… 发自小木虫Android客户端
qutingjk3楼
2015-10-25 12:25
回复
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
祝福
stingdhk4楼
2015-10-25 12:26
回复
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
祝福 发自小木虫IOS客户端
qinyaov5楼
2015-10-25 12:26
回复
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
祝福
yanjunt6楼
2015-10-25 12:27
回复
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
dmbb7楼
2015-10-25 12:28
回复
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
xirenjh8楼
2015-10-25 12:31
回复
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
tzynew9楼
2015-10-25 12:31
回复
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
mhycpxir10楼
2015-10-25 12:34
回复
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
祝福 [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
pctajy11楼
2015-10-25 12:34
回复
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]