应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 铁电薄膜材料刻蚀后，测SEM时的样品切割问题
51/1返回列表
查看: 1214  |  回复: 17
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[交流] 铁电薄膜材料刻蚀后，测SEM时的样品切割问题

我本人实验用的基片尺寸为1*1（cm^2）,光刻的图形尺寸在一个样品上有（1000、500、300、100um的正方形小图形），刻蚀完后我得测SEM,看一下横截面台阶角度，但是有个很关键的问题是得把样品适量切开。当然，我如果切得图形正好是1000的，相对而言，用肉眼也能看到（用的金刚石的锥子切开，如图从此正方形中间切开），但不能保证切得非常平整。故寻求大家是否有好的建议，能确保样品的横截面相对来说平整些，在此先感谢给位回复！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2015-10-25 12:07:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
13楼: Originally posted by 沧海一梦纷纷 at 2015-11-03 15:59:00
楼主，我是天线专业的，有一些铁电体材料的疑问，可以留个联系方式吗，

什么天线专业，看的有点蒙

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
14楼2015-11-04 11:01:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 18 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
镊子压着片子边沿，直接沿晶向裂开。
楼主的描述看得我好累。
赞一下 回复此楼
12楼2015-10-27 19:31:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

沧海一梦纷纷

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主，我是天线专业的，有一些铁电体材料的疑问，可以留个联系方式吗，
赞一下 回复此楼
13楼2015-11-03 15:59:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
123木头羊2楼
2015-10-25 12:23   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
… 发自小木虫Android客户端
stingdhk4楼
2015-10-25 12:26   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
祝福 发自小木虫IOS客户端
mhycpxir10楼
2015-10-25 12:34   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
祝福 [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
pctajy11楼
2015-10-25 12:34   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
查看全部 18 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭