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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 铁电薄膜材料刻蚀后，测SEM时的样品切割问题
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)

[交流] 铁电薄膜材料刻蚀后，测SEM时的样品切割问题

我本人实验用的基片尺寸为1*1（cm^2）,光刻的图形尺寸在一个样品上有（1000、500、300、100um的正方形小图形），刻蚀完后我得测SEM,看一下横截面台阶角度，但是有个很关键的问题是得把样品适量切开。当然，我如果切得图形正好是1000的，相对而言，用肉眼也能看到（用的金刚石的锥子切开，如图从此正方形中间切开），但不能保证切得非常平整。故寻求大家是否有好的建议，能确保样品的横截面相对来说平整些，在此先感谢给位回复！
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1楼 2015-10-25 12:07:50
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勿忘心安里

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
13楼: Originally posted by 沧海一梦纷纷 at 2015-11-03 15:59:00
楼主，我是天线专业的，有一些铁电体材料的疑问，可以留个联系方式吗，

什么天线专业，看的有点蒙

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14楼2015-11-04 11:01:34
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
镊子压着片子边沿，直接沿晶向裂开。
楼主的描述看得我好累。
赞一下 回复此楼
12楼2015-10-27 19:31:09
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沧海一梦纷纷

新虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主，我是天线专业的，有一些铁电体材料的疑问，可以留个联系方式吗，
赞一下 回复此楼
13楼2015-11-03 15:59:00
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123木头羊2楼
2015-10-25 12:23   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
… 发自小木虫Android客户端
stingdhk4楼
2015-10-25 12:26   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
祝福 发自小木虫IOS客户端
mhycpxir10楼
2015-10-25 12:34   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
祝福 [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
pctajy11楼
2015-10-25 12:34   回复  
勿忘心安里(金币+1): 谢谢参与
[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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